新思路!日本中小企业“产学结合”,通过开发AI控制算法,实现制程自动化的案例。

文摘   2024-10-12 11:14   日本  

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新思路

今天和大家分享一家日本中小企业如何通过产学结合,运用AI技术实现生产自动化的案例。这也是全球中小企业谋求弯道超车、快速成长的一个新思路。

 

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三幸这家企业

株式会社三幸这家企业,规模不大,此前也不算有名。但最近却因AI技术实现自动化而备受业界关注。

 

这家日本企业创立于1969年,资本金2000万日元,公司全体员工70人。创立初期靠碳制品和半导体制造设备所用零件的贸易起家,后根据客户以及市场需求,进入21世纪后,三幸进军制造业,并建立了以碳制品、陶瓷、精密器材为核心的产品群。近几年面向半导体制造设备的精密器材需求变大,三幸也取得了瞩目的业绩。

 

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关于设备开发与FZ法

让三幸走入大众视野的,还是这家企业最近正在挑战的一个新项目:可实现操作自动化的晶体生长设备的开发项目。

 

该项目的基础设备是FZ法设备,也叫做晶体生长炉。三幸的目标是将原先需要熟练操作工操作的“FZ法”完全自动化

 

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何为FZ法?

首先,我们先了解一下何为FZ法设备?在现代半导体产业中,高度单晶硅是不可或缺的材料。为了制备这种材料,工业界发展出了多种生产方法。其中,Czochralski法(CZ法)和区熔法(FZ法)是最常用的两种。


CZ法是一种广泛应用于大规模生产单晶硅的方法。这种方法以多晶硅为原料,在熔融状态下通过旋转籽晶使硅原子逐渐排列成单晶结构。CZ法生产的单晶硅具有尺寸大、产量高、成本低等优点,因此被广泛应用于太阳能电池、集成电路等领域。


区熔法,简称FZ法,是一种通过局部加热多晶硅棒来制备单晶硅的方法。在FZ法中,多晶硅棒被放置在加热炉中,通过控制加热区域的温度和移动速度,使硅原子在熔融状态下重新排列成单晶结构。FZ法生产的单晶硅具有高纯度、小尺寸、晶体质量好等特点,因此在一些特殊领域,如高性能电子器件、光电器件等方面有着广泛的应用。


三幸挑战改善的生产方式就是后者:FZ法。

 

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FZ法与CZ法的优劣点对比

虽然FZ法生产出的单晶体纯度更高,尺寸更小,但因为制造难度大,所花时间多,在工业领域的商业运用效率其实不如CZ法。为了解决这个难题,且保持单晶体性能质量的同时,兼顾生产效率,传统FZ法都需要熟练操作工进行手动作业,且很难做到全自动化。

 

在这一生产工艺上,一家企业需要培养一位忠诚、耐得住性子、且格外专注技术的“匠人”担任手动操作FZ法。因此,对个人手艺过度依赖的生产制程,显然不符合工业自动化的未来发展方向。为了解决这一难题,实现FZ法自动化,三幸走上了一条产学结合的创新道路。

 

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三幸的产学结合

三幸名古屋大学未来材料Systems研究所准教授与京都大学发起的创新企业Anamorphosis Networks三方合作,共同研究FZ法自动化的课题。


 

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各方的角色扮演

三幸:负责FZ法晶体生长炉开发

名古屋大学未来材料Systems研究所原田准教授:负责项目整体统合并向前推进:具体任务是与Anamorphosis Networks合作,开发能够实现制造工艺自动化的AI控制算法。

 

原田准教授在大学里的研究方向为利用最新的情报学技术,评价半导体材料-硅晶圆材料的结晶技术。他指出,由于人工智能技术的广泛应用,不仅自动驾驶成为现实,连结晶成长也能实现自动化。自动驾驶实现了机器深度学习一边驾驶汽车,一边注意过往车辆行人并做出减速、刹车、转弯、避让等一系列精准判断行为。

 

同样,半导体结晶成长制程也是如此,特别是在FZ法领域,通过观察结晶成长的过程,调整制程硅晶片达到最合理的形状。这一步骤,过去都由熟练工手动操作,未来将被AI取代。

 

手动操作FZ法制程的弊端:熟练工难培养,过度依靠个人技术与经验、制程耗时长且容易出现人为失误,以及因熟练工离岗而造成的企业经营问题等。

 

深度学习FZ法制程,需要收集大量数据。但这样将耗费过大的劳力与成本。目前该项目正努力通过少量数据进行动态推演。

 

原田准教授的研究团队,通过机器模仿FZ法的结晶成长行为,输入原料与结晶的下降速度等数据,输出融液的状态(比如融液的宽度与高度),开发出演算模仿软件。通过收集到的少量数据进行的强化学习,实现了最优操作方案,并构建出控制模型。

 

创新企业的作用:Anamorphosis Networks作为京都大学发起的初创企业,成为科技与商业嫁接的桥梁。该企业为了解决日本少子化带来的制造业人工短缺问题,积极应用最先进AI,图像处理技术来实现产品外观检测自动化,企业DX化进程。

 

在这次产学合作中,Anamorphosis Networks将FZ法设备内发生的现象用照相机记录下来,利用该公司的图像处理技术收集数据,将努力实现系统操作的自动化。

 

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项目难点

基础数据太少,能否生成高信赖度的模型?

少量数据,能否得到高信赖度的模型呢?原田准教授用登山为例,做了一个形象的比喻:一个登山高手,在爬山之前不需要了解所有登山路径;而是对自己选择的登山路径做一个详细的研究和准备就好。FZ法的数据收据与学习也是如此,在操作数据有限的情况下,通过集中收集深度学习熔融状态变化的相关数据,从而完成高信赖度模型。

 

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项目影响

三幸社长表示,FZ结晶成长制程的AI自动化,将大大提高结晶材料制造的稳定性、良品率以及人力物力成本。也进一步改善半导体制造效率。此外,本次开发的算法,也将广泛应用于其他技术领域,加速了工厂智能化的进程。

 

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小结

中小企业如何突破瓶颈?AI时代,机会来了。三幸就是个好案例。该公司结合自身技术特点,与大学研究所、创新企业进行深度技术合作,借势第三方科研力量,应用AI技术改良现有技术与产品,提高企业竞争力。


参考:

『AI制御アルゴリズムの開発で製造プロセスの自動化を実現』週間ダイヤモンド10/5

 


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