MOS管电容模型原理
MOS管的核心是:金属-氧化物-半导体电容。G极导电金属(多晶硅)与衬底(半导体)之间有一层氧化物绝缘层。
这个结构很熟悉,两个导体中间夹着一层绝缘材料,这就是一个妥妥的平板电容。该电容对于MOS管来说起着非常重要的作用,是区别于BJT,并提升速度性能的关键。
接下来,我们分别对金属-氧化物-半导体电容外加不同电压,来看MOS管的变化:
1. 如下图为P型衬底MOS电容,MOS结构的电容接近于平行板电容器:G极(栅极)与B(衬底)之间有一层绝缘材料(氧化物),加上负偏电压后G极出现负电荷,衬底则出现正电荷,电场穿入半导体,作为多子的“空穴”就会被推向氧化物-半导体的表面;单位面积电容C= ε/d,其中ε为介电常数,d为两板间距。
2. 如下图在G极与衬底B之间加正偏电压:此时正电荷出现在金属板上,随之产生的电场方向与前面讨论的相反,这种情况下“空穴”会被退离氧化物-半导体界面,由于固定不动被离化了的受主原子的存在,一个带负电的空间电荷区(没有“自由电子”和“空穴”)就形成了,该空间电荷区负电荷与G极上的正电荷相互对应。
3. 如下图所示为施加不同极性电压时的MOS电容能带图,其中,Efi:本征费米能级;Ef:费米能级。
1, 在零偏电压(a)时:半导体能带图是平的,意味着半导体中没有净电荷存在(平带)。
2, 在栅极加负偏电压(b)时:与P型半导体内部相比,氧化物-半导体界面处的价带更加靠近费米能级,表明界面处有“空穴”堆积。
3, 在栅极加正偏电压(c)时:其导带和价带边缘如图所示,空间电荷区与PN结类似,导带和本征费米能级均向费米能级靠近,产生的空间电荷区宽度为Xd。
4. 我们继续对MOS电容器施加更大的正偏电压(更大的电场):MOS电容中更多的负电荷表明了更大的空间电荷区以及更弯曲的能带。
如下图所示,氧化物-半导体表面的本征费米能级低于费米能级,导带比价带更靠近费米能级,此时从费米能级的角度可以看成N型半导体。
表明通过施加足够大的正偏栅电压,半导体表面已经从P型转化成了N型半导体,从而产生了氧化物-半导体界面处的电子反型层。
同理,N型衬底同样可通过能带理论推理得到“空穴”反型层。
通过对MOS电容的能带理论分析,我们知道在G极和S极之间加不同的电压,衬底半导体的不同状态:
1. VGS<0时,靠近G极的衬底产生空穴。
2. VGS>0且比较小时,靠近G极的衬底产生一个空间电荷区(耗尽层,无“自由电子”)。
3. 当VGS>0且较大时,靠近G极的衬底产生电子反型层(存在“自由电子”),此时MOS管导通。
那VGS具体加多大的正偏电压,才能使MOS管导通呢?
这个电压值,我们称它为MOS管的阈值电压:Vgsth。