来源:PI
气浮转台也叫（旋转空气轴承）是一种使用一层薄薄的压缩空气来形成无摩擦、无接触的旋转表面。这种设计可确保卓越的精度、平稳的运动和长期的可靠性，由于无摩擦运动，不会形成颗粒，独特的真空气路设计，高精度的气浮轴承以及速度稳定性，是半导体晶圆吸附最佳设计之一。
一些是根据资料进行的技术总结：
安装的重要性：安装过程中的正确对准对于确保稳定性和防止操作问题（例如不均匀的气隙或摆动）至关重要。安装过程的精度以防止不均匀的气隙或运行不稳定.
高制造精度：精密加工以确保均匀的气隙和高表面质量.气隙轴精度对表面质量高度敏感。即使的小划痕（例如 >2 μm 的凹槽）也会导致轴承无法运行 。
压缩空气质量：气浮技术一般依赖于持续供应的清洁加压空气。油或颗粒等污染物会破坏气膜并导致性能下降 ，污染物（例如油或颗粒）会破坏气膜并降低性能.
环境敏感性：外部振动或温度波动会影响性能，因为它们会影响气隙和旋转精度 。
以下是气浮轴详细3D图共65个零件（STP）和相关资料部分截图：
资料下载链接：
链接：https://pan.baidu.com/s/1PPJVMf-20mdUo_VoXbi_-w
提取码：t0th
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