半导体晶圆贴膜设备介绍和相关资料文末下载

文摘   2024-11-23 11:12   广东  

视频来源:LINTEC Corporation

晶圆贴膜设备在半导体制造中重要制程设备,可在切割和背面研磨等加工步骤中为晶圆提供支撑和保护。晶圆贴片机将切割胶带贴到晶圆背面,将其固定在框架上,从而实现稳定的处理和精确的切割。通常,它会用切割胶带将晶圆安装到薄膜框架上.

以下是晶圆贴膜设备介绍和关键技术总结:

晶圆的定位:贴膜前晶圆必须进行精确定位以此提高贴膜的精度。这是晶圆与胶带的对准贴合和无气泡关键技术。

胶带涂抹器:作为结构的核心部分,涂抹器将粘合剂或背面研磨胶带涂抹到晶圆上。该机制通常包含滚轮或层压机,可将胶带无气泡地压在晶圆上,确保均匀粘合。

胶带贴合装置:贴合可确保胶带的粘贴平稳且无气泡。一般采用固定滚轮设计,可施加受控压力以实现一致的胶带粘合。

无气泡应用:为避免切割过程中出现缺陷,晶圆安装设备的一个关键特性是其无气泡应用过程,需要对贴合装置的精确压力控制和防气泡结构设计。

支持薄晶圆:先进的系统旨在处理需要精细、精确处理以防止破损的薄晶圆,可适应各种晶圆厚度和胶带类型。

去胶带机:切割后,去胶带机从晶圆表面去除保护胶带或切割胶带。这通常是处理薄晶圆或易碎晶圆所必需的,因为这些晶圆在手动去胶带过程中可能会损坏。


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