一种高精度桌面式设计的热压倒装键合机结构分享

文摘   2024-12-29 13:20   广东  

应用:

可适合光学元件安装、MEMS 器件组装、多引脚 BGA 安装等,精度可达±2.5μm.


特征

  • 结合芯片键合和倒装芯片键合功能

  • 通过更换载物台和夹头部件,可兼容多种设备。

  • 兼容热压粘合、涂胶、金属共晶粘合、超声波粘合等多种施工方法。

  • 非常适合创建原型、开发条件和设置批量生产设备的条件。

内部结构:

以上资料来源:HiSOL,Inc. 

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