SIP薄芯片键合技术-日立DB800键合机技术简介和资料下载

文摘   2024-12-23 18:06   广东  

   DB800 专为半导体制造中的系统级封装 (SiP) 组装而设计。它擅长处理各种半导体芯片,包括 NAND 闪存和 DRAM 芯片,使其能够满足不同的封装要求。通过高精度的芯片贴装和键合,确保不同芯片之间的可靠连接和高效性能。

     SiP是一种将多个功能不同的芯片集成到单一封装内的技术,广泛应用于移动设备、物联网(IoT)设备和可穿戴设备等对体积和性能有严格要求的领域。

设备原理和主要技术:

  1. 芯片拾取:通过真空吸嘴装置,从晶圆拾取待键合的芯片。

  2. 芯片定位:利用高精度的视觉系统,对芯片和基板进行精确对准,确保芯片能够准确地放置在预定位置。

  3. 芯片贴装:在完成定位后,将芯片放置在基板上,并施加适当的压力和温度,以实现芯片与基板之间的物理连接。

  4. 键合过程:根据工艺要求,可能涉及热压键合、超声波键合或其他键合方法,以确保芯片与基板之间形成牢固的电气和机械连接。

5.激光测量:DB-800结合激光长度测量技术,可在键合过程中保持精确的高度控制。此功能有助于实现一致、可靠的芯片放置。

6.压键合该键合机通过使用基板加热器和夹头加热器进行热压键合。这种方法可确保芯片和基板之间牢固粘合,这对于半导体器件的耐用性至关重要。

7.超声波和多段顶针:可有效处理薄芯片,DB800配置有超声波和多级顶针机制。此功能可最大限度地降低键合过程中损坏精密半导体元件的风险。

结构组成:

  • 工作台:用于放置基板或封装载体,通常具备高精度的移动和定位功能,以配合芯片的贴装。

  • 拾取和贴装头:负责拾取芯片并将其精确地放置在基板上,通常配备真空吸嘴和精密的运动控制系统。

  • 视觉系统:通过摄像头和图像处理软件,对芯片和基板进行实时监测和对准,确保贴装精度。

  • 控制系统:集成了软件和硬件,用于协调设备各部分的运行,设定工艺参数,并监控生产过程中的关键指标。

  • 键合模块:根据不同的键合工艺,可能包括热压头、超声波发生器等,用于实现芯片与基板的牢固连接。


技术参数:

键合速度:每个芯片周期 0.32 秒,有助于高通量制造。

键合精度X-Y:±15µm  Theta (θ):±0.5° (3σ)

晶圆兼容性:标准 300/200 毫米晶圆,可满足各种生产要求。

芯片尺寸范围:能够处理从 0.8mm x 0.8mm 到 25mm x 25mm 的芯片,为不同芯片尺寸提供灵活性。

以上资料来自Hitachi High-Tech官网和网络搜索整理而来,仅供参考!

设备视频和技术文档(中英文一千多页)部分截图:

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