晶圆级芯片分选机组装分解图资料分享

文摘   2024-12-14 20:28   广东  
视频来源:ESTEK

晶圆级芯片分选机是半导体制造中的关键设备。根据预定义的标准(例如位置、质量或电气测试结果)自动对半导体晶圆上的芯片进行分选。

以下是分选机主要特性和功能的简述:

晶圆图集成:自动芯片分选器支持晶圆图文件,该文件提供有关芯片位置和分类的详细信息。这些图可指导分选过程仅挑选所需的芯片。

拾取和放置精度:一般分选机需都具有高精度,拾取和放置精度可高达 ±20µm,以确保正确处理和放置芯片 。

输入和输出的多功能性:这些系统可以处理各种输入格式,包括晶圆、华夫饼包、Gel-Paks 或 JEDEC 托盘,并且可以根据下游要求将分选后的芯片输出为多种格式。

灵活的晶圆处理:可处理直径高达 300 毫米的晶圆,具有自动上料等功能

以下分享分选机爆炸图文档,供进一步研究和学习这种设备的结构!可对高速高精度设备的架构设计有更深刻的理解和思路!以下为部分截图!

设备整机外形:(图源ASM)

晶圆夹持装置:

高速摆臂吸取装置:


以上资料(爆炸图和电气图)已放入知识星球,有需要可免费下载!

参考3d图纸下载链接:半导体-Wafer to Wafer芯片分选机技术分析和3D分享

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