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/ 扩散扫盲——方阻 /
【方阻】定义
方块电阻，sheet resistance 指的是半导体膜或金属薄膜单位面积上的电阻 方阻大小只与膜的厚度和材料特性有关
电阻
- 电阻 Ω， - 电阻率 Ω·cm， - 长度 cm， - 面积
方块电阻
- 方块电阻 Ω/sq， - 电阻率 Ω·cm， - 厚度 cm
直线型四探针测试原理
四根探针，间距均等均为s 探针适当施加压力，垂直落于硅片上，形成欧姆接触 2个外侧探针（1,4）之间施加电流，形成测试回路 2个中间探针（2,3）连接高阻抗精密电压表，测得电位差
当样品直径大于40s，厚度时，边缘效应修正因子和厚度修正因子均为1，电阻率计算公式：
对于极薄样品，厚度比探针间距小很多()，横向尺寸无穷大时：
薄层电阻率在等间距探针测试情况下，探针间距和测量结果无关，电阻率与被测样品的厚度成正比 4.5324 - 常被称作方块电阻校正系数
方块电阻，表面为正方形的半导体薄层，在电流方向所呈现的电阻
- 结深
直线型四探针法的优缺点：优点：
测试理论简单成熟，经过实际检验，测试理论可靠。 测试精度较高，相同条件下，较其他探针法测试精度更高。 对测试晶圆片尺寸无严格要求，可用于测试不规则形状或厚度的晶圆片。
缺点：
接触型测试，易损伤或污染被测晶圆片。 测试时需要形成稳定的欧姆接触，测试时间较长，特别是在测试多点的时候。 接触型测试，对晶圆片接触面要求较高。
掺杂浓度与电阻率换算
对于P型硅
- 电阻率， - 掺杂浓度
对于N型硅
，，，， ，，
