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企业   2024-10-15 16:08   浙江  
它的基本原理是在真空低压下,ICP射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈,以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电,产生高密度的等离子体,然后在下电极的RF射频作用下,这些离子 ...
企业   2024-10-14 11:40   浙江  
光学届的培训压轴之作,中国科学院上海光机所光学系列培训班之第21届光学设计高级培训班(10月27日-11月1日)、第16届光学检测高级培训班(11月3日-8日)、第11届红 ...
企业   2024-10-13 23:51   浙江  
电感耦合等离子体刻蚀(ICP)刻蚀波导的垂直性与ICP功率、RF功率、腔室内的压强、温度、刻蚀配方等都有较大的关系,下面将以砷化镓基材料举例来说明,各参数对刻蚀波导的垂直性 ...
企业   2024-10-11 09:01   浙江  
近年来,光学超表面的设计取得了显着的进步,尤其是在紧凑型设计方面。然而,为了将它们实际集成到不同的光学系统中,迫切需要超表面在不影响其性能的情况下向更大的区域过渡。从设计角 ...
企业   2024-10-08 23:33   浙江  
2022年,吉林大学宋俊峰团队基于Si3N4-ON-SOI工艺,展示了二维64通道的OPA芯片,光束扫描角96°×14.4°,发散角为1.41°×1.49°,主瓣功率690 ...
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