半导体设备chiller即半导体冷却器，是一种用于半导体制造过程中对设备或工艺进行冷却的装置，其工作原理是利用制冷循环和热交换原理，通过控制循环液的温度、流量和压力，带走半导体工艺设备产生的热量，从而实现精确的温度控制，确保半导体制造过程的稳定性和产品质量.以下是一些半导体设备chiller的制造商：
国际制造商
• BV Thermal Systems：其生产的半导体chiller专为硅片制造和研究设计，采用热气旁路技术，稳定性高，可提供5℃至27℃的连续冷却，控温精度达±0.1℃，有多种型号，适用于晶圆卡盘冷却、测试头冷却等多种半导体工艺设备冷却.
• Koolant Koolers：自1952年起就为多行业提供可靠的流体冷却器，可针对半导体行业设计标准或定制化系统，满足不同尺寸、便携性等需求，其产品使用寿命长，适用于各类半导体制造过程.
• Shinwa Controls America：是美国的制造商，其生产的chiller可用于工艺环境控制、流体输送过程控制以及晶圆环境控制等.
• Silicon Thermal：为半导体测试行业提供热控制解决方案.
• Advanced Thermal Sciences：专注于为半导体行业生产冷却器和热交换器.
• Intest Thermal Solutions：为热测试和工艺冷却提供温度系统.
国内制造商
• 京仪装备：国内半导体温控设备及废气处理设备龙头，其半导体专用温控设备chiller主要用于12英寸晶圆前道刻蚀、化学气相沉积等工艺，适配多种设备公司的主工艺设备，已广泛应用于国内主流集成电路制造产线，2022年国内市场占有率达35.7%.
• 无锡冠亚恒温制冷技术有限公司：提供多种类型的半导体chiller，如介质刻蚀双通道chiller、半导体单通道制冷设备等，温度控制范围广，可满足不同工艺制程的控温需求，还具有自动除霜、模块化设计等特点，适用于半导体设备高低温测试等.
• 成都中冷低温科技有限公司：其生产的半导体器件高低温测试设备chiller，控温精度可达±0.1℃，采用多种先进控制技术，提高了设备的稳定性、控制精度和响应速度，应用于蚀刻装置、CMP等多种半导体相关领域.
半导体设备chiller主要有两种类型，其原理和结构分别如下：
热电制冷式chiller
• 原理：基于热电效应，当电流通过两种不同半导体材料组成的电偶时，电子从一端移动到另一端，会在一端吸收热量，在另一端放出热量，从而实现制冷。通过改变电流方向，还可切换制冷制热功能.
• 结构：主要由散热器、p型半导体材料、n型半导体材料、热端冷端电极、直流电源和控制电路等组成。其中，散热器用于散热；p型和n型半导体材料交错排列形成p-n结产生制冷效应；热端冷端电极用于电能输入输出和传导制冷效果；直流电源提供电能；控制电路监测和调节工作状态.
压缩机制冷式chiller
• 原理：压缩机吸入蒸发器出来的低压工质蒸汽，将其压缩成高温高压气体送入冷凝器，在冷凝器中冷却成高压液体，经节流阀节流成低压液体后送入蒸发器，在蒸发器中吸热蒸发成低压蒸汽，完成制冷循环。通过控制制冷剂的流向和状态变化，实现热量的转移和温度控制.
• 结构：主要由蒸发器、冷凝器、压缩机和节流阀四大部件构成。蒸发器是输送冷量、吸收被冷却物体热量的设备；压缩机负责吸入、压缩和输送制冷剂蒸汽；冷凝器放出热量，将蒸发器吸收的热量和压缩机功转化的热量传递给冷却介质带走；节流阀对制冷剂节流降压，控制流入蒸发器的制冷剂液体数量，并划分系统的高压侧和低压侧.
此外，半导体设备chiller还会有循环泵，用于驱动冷却液或制冷剂在系统中循环流动，确保热量能够有效地传递和交换；以及控制系统，根据温度传感器的反馈信号，精确控制制冷系统的运行状态、制冷量输出等，以保持设定的温度稳定.
