半导体厂中的cassette指的是一种晶圆载具 。
在半导体厂中，“cassette”通常是指晶舟、载具盒或料盒。
从功能角度讲，它主要用于承载和保护半导体晶圆。晶圆是制造芯片的基础材料，质地薄且脆。cassette可以将晶圆固定在特定位置，避免晶圆受到外界的物理损伤，像碰撞、刮擦等情况，确保晶圆在运输、存储以及加工过程中的安全性。
从使用场景方面看，在半导体制造的各个流程环节，如光刻、蚀刻、离子注入等过程中，cassette起到在不同设备之间运输和传递晶圆的作用。不同的工艺设备可能对cassette有不同的接口要求，以保证能精准地接收和放置晶圆载具盒。
从材质和设计角度来说，cassette一般采用防静电的材料制作，这是因为半导体制造过程对静电非常敏感，静电可能会损坏晶圆上的精密电路结构。其内部结构设计会根据所承载晶圆的尺寸（如常见的8英寸、12英寸晶圆）进行适配，有相应的卡槽或者固定装置来确保晶圆放置的稳定性。
以下是一些半导体厂cassette的制造厂家：
国内厂家
• 中勤实业股份有限公司：可生产多种材质如Teflon、PFA、PP、PEI、PC、Metal、PEEK等的Cassette，尺寸涵盖150mm(6吋)、200mm(8吋)、300mm(12吋)，还提供客制化服务，拥有完善的上下游产业链，包括模具制造、无尘室清洗组装及实验室检测服务等.
• 昆山英博尔电子科技有限公司：产品适用于晶圆制造、封装测试、LED光电和太阳能光电等行业，可提供FOSB&FOUP、PP、PEEK、铁氟龙等不同的晶圆盒，尺寸从2寸到12寸，且具备多种材料定制、强加工能力以及丰富的表面处理工艺.
• 南京滨正红仪器有限公司：其PFA花篮产品，即PFA wafer Cassette，具有耐酸耐碱耐腐蚀、能做激光雕刻、可安装RFID等特点，适用于半导体蚀刻部门的酸碱制程中传送晶圆，公司有三十多年PFA制品生产加工经验.
• 浙江赛瑾半导体科技有限公司：专业从事半导体载具设计开发制造，其Cassette等产品在国内众多Fab厂广泛使用，还提供半导体载具配套设备及智能化集成、半导体黄光设备服务.
国外厂家
• Brooks Automation, Inc.：是知名的半导体制造设备及相关产品制造商，其Cassette产品质量可靠，在行业内拥有较高的知名度和市场份额.
• H-Square Corporation：作为世界领先的设备供应商，其核心业务是设计、制造和销售先进的晶圆处理产品，Cassette产品在半导体、平板显示、硬盘驱动和医疗电子等行业广泛应用.
• Entegris, Inc.： 为半导体行业提供多种高性能材料和产品，其Cassette产品在材料选择和制造工艺上都有严格的质量控制，能够满足半导体制造过程中的高要求.
• Evatec：瑞士的半导体设备商，其薄膜沉积设备实现了cassette to cassette与SMIF标准，为Micro LED芯片制造提供了高精度、高稳定性的镀膜解决方案.
• In Saco, Inc.：自1947年起就从事高精度硬材料加工，能够以极高的精度公差加工陶瓷、蓝宝石、玻璃和石英等材料制成的Cassette.
