镜头组装时的小心谨慎并不能保证镜头不会损坏或变质。用户应该注意和关注许多事项：
防止机械冲击——必须避免任何可能改变镜头组装精度的机械冲击或振动。这些干扰最有可能来自将镜头从工厂运输到半导体制造厂的过程。到达那里后，定位或重新定位镜头也可能存在问题。加速度计用于监控镜头、步进机和扫描仪的运输，以控制运输过程的质量。
防止环境变化——众所周知，镜头环境中的轻微温度和气压变化会改变镜头元件的折射率。37 如果镜头安装材料设计不当，它们还会影响组装精度。因此，现代步进机或扫描仪中的成像镜头封闭在环境室中，将温度调节到优于 0.1° C。镜头本身保持在指定的压力下。至关重要的是，掩模对准器的电源必须持续打开，以便这些控件可以不间断地工作。否则，需要很长时间才能重新稳定或恢复系统。
表面污染——落在任何镜头表面上的任何灰尘颗粒都会成为散射中心，产生杂散光和眩光，从而降低图像对比度，进而影响线宽控制。因此，镜头应在无尘环境中组装。在现场，镜头不应受到任何颗粒污染。当光刻胶放气时，有可能在镜头前表面上积累一层聚合物材料。这也必须避免。
辐射损伤——镜头元件的胶水、镜头表面的抗反射涂层以及镜头材料本身会随着曝光剂量的积累而变质。极高峰值曝光脉冲会加速劣化。众所周知，镜头需要在镜头工厂进行翻新，甚至在一两年后更换。然而，除了避免不必要的曝光和意外将高峰值脉冲引入光学系统之外，掩模对准器用户几乎无法采取任何措施来防止这种损坏。
