半导体设备如何识别loadport上面有Foup或者pod的

文摘   2024-11-29 09:32   浙江  

物理接触检测

• 机械微动开关:在loadport的特定位置(如边缘、承载面底部等)安装机械微动开关。当Foup放置在loadport上时,其重量会使微动开关触发。例如,当Foup的底部接触到承载面上的微动开关,开关闭合,产生一个电信号发送给设备的控制系统,告知有Foup存在。这种方式简单直接,但是机械部件容易磨损,长期使用可能会导致误判。

• 压力传感器:在loadport的承载面分布压力传感器。Foup放置后会对传感器产生压力,通过检测压力变化和压力分布模式来判断。例如,不同规格的Foup会产生不同的压力分布,系统可以预先存储各种Foup的压力特征参数,当检测到的压力参数与之匹配时,就能确定有Foup在loadport上。

光学检测

• 光电传感器:利用光电传感器发射光束并接收反射光。当没有Foup时,光线直接反射回传感器;当有Foup时,由于Foup的形状、材质等因素,反射光的强度、角度等会发生变化。例如,采用漫反射式光电传感器,在loadport的边缘或顶部安装,当Foup遮挡光线时,反射光的变化被检测到,从而判断有Foup存在。

• 视觉检测系统:在loadport附近安装摄像头。通过图像识别技术,分析摄像头拍摄的画面来确定是否有Foup。系统可以预先存储Foup的形状、颜色等视觉特征,对画面进行实时比对。例如,利用深度学习算法训练一个模型,使其能够准确识别出Foup的轮廓和关键特征,即使在复杂的光照或有部分遮挡的情况下,也能判断Foup是否在loadport上。

电学特性检测

• 电容式检测:利用电容变化原理,在loadport表面设置电容传感器。Foup放置后会改变电容值,因为不同的材料(Foup的材质)具有不同的介电常数。例如,当Foup靠近电容传感器时,电容极板之间的电场分布发生变化,电容值随之改变,设备根据电容值的变化来判断是否有Foup。

• 电感式检测:类似电容式检测,通过电感传感器来检测电感的变化。当有Foup(通常含有金属成分)靠近或放置在电感传感器附近时,会改变电感线圈的磁场,从而引起电感值变化,以此来判断Foup是否存在。

射频识别(RFID)

• 在Foup上安装RFID标签,在loadport处设置RFID读取器。当Foup放置在loadport上时,读取器能够读取标签信息,从而确定Foup的存在,并可以同时获取Foup的编号、类型等相关信息。这种方式还便于对Foup进行跟踪和管理。

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