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ASM早期以CVD技术起家，后通过收购发展为全球ALD&碳化硅外延设备巨头。从1990年代起，ASM开始专注于ALD设备的研发和商业化应用。在1994年和2004年，ASM分别收购了ASM Microchemistry（专注于ALD设备的研发）和ASM GenitechKorea（专注于PEALD设备的研发）。到了2007年，公司的Pulsar ALD设备成为全球首个用于大规模生产采用新型铪基High-K介电材料器件的系统，由此确立了其作为全球最大的ALD设备供应商的地位，市场占有率超过50%。进入2020年代后，ASM进一步拓展业务，将碳化硅外延设备作为公司的第二增长曲线。2022年，公司收购了位于意大利的LPE公司，正式进入碳化硅外延设备市场。电动汽车市场的快速增长，成为了推动这一市场迅速扩张的主要动力。随着AI与先进制程发展对半导体需求的日益增高，叠加3D DRAM和3D NAND存储芯片陆续完成研发扩产，ALD技术已成为半导体晶圆设备中增长最快的领域之一。根据ASM在2023年投资者日披露的信息，2022年全球ALD市场规模达到26亿美元，预计到2025年全球ALD市场规模将增长至31亿至37亿美元，到2027年市场规模将达到42亿至50亿美元，2022至2027年间的复合年增长率（CAGR）预计为10%至14%。作为全球领先的ALD设备供应商，ASM公司将从这一增长趋势中获益。ASM在硅外延技术方面占据全球第二大供应商的地位。2022年，ASM通过收购意大利LPE公司，拓展了碳化硅外延设备的新业务线，这一领域已成为公司增长最快的业务之一。ASM提供包括Epsilon、Intreprid在内的硅外延设备，以及PE106/108和PE208等碳化硅外延设备，后者以其双腔室设计和全盒式操作提高了设备维护的便捷性。随着新能源汽车市场的快速增长，预计到2027年，新能源汽车导电型SiC功率器件市场规模将达到50亿美元。ASM凭借其在碳化硅外延设备领域的技术优势，有望在这一增长趋势中充分受益。展望国内，看好专业化布局的微导纳米引领ALD国产替代，与拓荆科技和北方华创一同成为国内ALD技术的先行者。碳化硅业务方面，我国晶盛机电在全球碳化硅产业中占据重要地位，其碳化硅外延炉出货量国内领先，全面覆盖6-8寸主流技术路线，并且最新发布的8英寸双片式碳化硅外延炉在产能和成本效益上都有显著提升，看好晶盛碳化硅业务跟随新能源汽车和光伏发电等新兴领域快速放量。![]()
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