2024年10月23日，第十四届中国国际纳米技术产业博览会在苏州成功举办。博览会邀请了2010年诺贝尔物理学获得者Andre Geim和Konstantin Novoselov，以及2014年诺贝尔物理学获得者天野浩出席。会议聚焦纳米技术的上下游产业链条，为企业提供了一个展示、交流、合作的绝佳舞台。
展会期间，纳米人受邀采访了知名企业——镁伽科技。
镁伽科技（MEGAROBO）
镁伽科技成立于2016年，是一家专注提供先进生产力工具的科技公司，致力于通过机器人、自动化、人工智能等技术与行业应用的深度融合，赋能生命科学、集成电路和新型显示等领域的创新突破和数字化革新，为每个人创建更高效、更健康、更美好的世界。
镁伽拥有千余名跨领域的人才团队，坚持以自主研发和技术创新为驱动，已积累多项具备世界竞争力的核心技术，累计申请专利超1000项。
Q: 公司业务范围有哪些？
A: 镁伽集成电路专注于提供从晶圆量检测到工艺切割的综合解决方案，以此作为镁伽科技的业务基点，通过人工智能和先进光学优势打造高端装备，赋能集成电路良率的管理，以上是镁伽科技业务发展的一个大方向。
这次纳博会现场，我们也展示了三个单点设备。第一，是应用于集成电路制造的黄光区以及先进封装叠片工艺的一套完整的全自动Overlay套刻量测设备，在这一系列设备中，不仅支持单面套刻，也支持双面套刻。单面量测重复性精度，我们能够做到0.5纳米，可应用高阶工艺节点；双面量测重复精度能够做到5纳米。我们针对MEMS的叠片工艺开发的双面套刻量测设备，目前已经在多个MEMS制造Fab厂量产。
第二，我们开发了针对集成电路制造中先进封装段的缺陷检测和晶圆的缺陷检测的全自动晶圆AOI设备，精度最高可以达到0.2微米。同时，设备配备自研 AI 视觉融合解决方案，具备基于 AI 技术的 ADC 功能，缺陷分类准确性≥98%，有效提升缺陷检测能力，降低缺陷过检率。
第三，针对集成电路行业对晶圆片高品质切割要求，镁伽推出了全干式的激光引导切割机，主要用于SiC、Si、Sapphire多种衬底的晶圆切割，设备使用激光引导切割技术，具有切割效率高、无耗材、不产生残渣等优点，配合镁伽自研核心技术FDC焦点深度控制系统及新一代AI视觉技术平台InteVega，可实现全自动化生产，最高切割速度1000mm/s，切割精度可达±1μm，特别适用于对精度要求较高的晶圆切割。
从市场应用角度上看，镁伽始终致力于人工智能+自动化、数字化与行业应用的深度融合，旨在推动行业向智能化、高效化方向转型升级。镁伽也投入了大量的研发资源，希望将来能够串联产业链上下游，为新质生产力的提升尽一份力。
Q：公司未来会往哪些方向开展业务？
A：这几年，镁伽高度关注化合物半导体和新型显示领域的发展机遇，开发出了很多具有针对性的解决方案。其次，我们也关注到全球供应链体系的微妙变化。从去年开始，镁伽开始拓展海外市场，在东南亚市场陆续开展了一些业务。
除此之外，以一个3万片的12寸的晶圆厂为例，从工厂建厂到投产，再到良率提升到损益平衡点，甚至更高的良率水准，通常需要超过一年的时间。但工艺的发展是迅速的，同时客户需求在不断变化。镁伽科技希望未来在专注单点设备技术迭代的同时，大力发展人工智能与集成电路制造相融合，不仅是要成为拥有超多先进高端装备的科技公司，未来的3~5年还希望能建设打造一个集成电路产业链相互融合，高效合作的平台，由点到面提高整个行业的产业效率。
Q：听说公司参与了“人工智能+”制造业领域团体标准的制定和发布，能具体说说是怎么回事吗？
A：镁伽主张以人工智能和先进光学优势打造高端装备赋能集成电路制造良率管理。为深化人工智能技术的研发与场景应用，镁伽建立了专注人工智能技术的研发机构——轩辕实验室。其研发方向包括但不限于机器学习、深度学习、计算机视觉等前沿领域。轩辕实验室高效地将人工智能技术融入镁伽自身及合作伙伴的业务实践中，不仅提升了企业内部运营效率与质量，还为诸多客户提供了一站式、智能、高效的人工智能解决方案。
镁伽是此次标准制定的牵头单位之一，提出了标准的范围和内容提纲，涵盖了从研发设计、中试试验、生产制造、营销服务到运营管理在内的整个制造业流程体系中的人工智能技术应用场景分类，并深度参与了标准主题内容的编写工作。
Q：公司参加纳博会有哪些感受呢？对纳博会有哪些建议？
A：我们是去年关注到纳博会的，有很多产业链的朋友到这里进行交流，展会的展位紧俏，反响热烈。我们认为苏州纳博会专业性体现得十分到位，聚焦于纳米制造，与会观众也是专业的，能够围绕主题进行交流。
其次，我们认为纳博会是接地气的展会。长三角地带作为国内半导体发展的核心地带，聚集了一大批行业中极具典范意义的企业。因此，纳博会的选址是十分呼应产业需求的。
镁伽在集成电路领域属于发展迅速，因此这次展会对于我们而言是十分重要的展示机会。同时，作为“开在家门口的企业”，我们认为这是所有展示机会里非常重要的一环。
中国国际纳米技术产业博览会经过十四年的发展，不断提升展会的专业度和创新性，已经成为了中国最具影响力的纳米技术交流盛会。
纳博会把纳米领域中各个行业的企业和专家聚在一起，促进了行业的交流，又通过分论坛的形式向与会人员输出着行业内最新、最专业的咨询和信息，把技术应用推得更深更远。
