固晶机整体layout:
拾取头:
开发高速高精度输送的拾取键合头，它由总共 4 个轴驱动，包括用于XYZR轴。以下是概念图：
传统的高速移动装置采用滚珠丝杠的输送方式，但滚珠丝杠在高速时由于噪音引起的温度变化和摩擦产生的热量引起的精度变化的问题，因此本文采用空气轴承和直线电机设计，防止因热量引起的热膨胀，并比传统设备更轻，因此可以高速运行！
运动时序图：
对运动底座部分进行分析:
高速运动装置必须考虑振动的影响。振动会导致材料疲劳机械部件很快就会磨损并产生很大的噪音。当固有频率和外部频率引起谐振时，会产生严重的噪声和振动，原始和坚固的结构被破坏。这种设计架构可有效的避免了这些谐振区域。系统的独特性频率分析需要在系统的静态和动态分析之间进行选择。它是根据包含惯性力和根据时间变化施加的负载来判断的！
以下为资料和3D部分截图:(资料已放入知识星球，见文末下载方法）
ASM固晶机爆炸图PDF清单资料截图：
资料下载方法：
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