2100固晶机关键组件包括:
键合头:也是固晶机的核心。键合头可在受控环境下运行,以保持稳定的压力和对准度。
芯片高度传感器:可确保精确测量器件高度,从而实现精确粘合,更好地对准芯片,并确保芯片均匀贴装在基板上。
视觉系统:先进的光学系统对准芯片。视觉系统精确定位芯片在晶圆或基板上的方向和位置,以确保正确放置。
点胶模块:该系统能够根据配置进行单点和双点分配,以提高速度和多种材料处理 。
晶圆台:机器具有模块化和可调节的粘合台,可处理各种芯片尺寸和材料。它支持小规模和高吞吐量制造需求,包括不同的基板和晶圆类型。
技术要点分析:
复杂的校准和光学对准:在处理特别小或形状不规则的芯片时会面临挑战。视觉系统和键合头的校准需要精确,因为微小的错位会影响键合质量和设备性能。
材料兼容性:不同的粘合剂在点胶模块中的表现可能不同,需要调整点胶参数才能达到所需的一致性和粘合强度。
晶圆翘曲和厚度变化:晶圆厚度或翘曲的变化会影响芯片粘合过程。虽然设备高度传感器可以提高精度,但厚度不均匀或翘曲的基板可能会导致粘合不一致,尤其是在大批量自动化设置中。
速度与精度:高速粘合有时会以牺牲粘合精度为代价,尤其是在短时间内需要粘合多个芯片时。高速和高精度是一种取舍的平衡!
定时合理的设备维护:粘合头和点胶模块等部件容易磨损,需要定期维护才能保持最佳性能。
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