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对于EBSD样品，最基本的要求包括：样品表面要清洁、平整、无应力（包括弹性和塑性应力），并且需要具有良好的导电性。此外，样品的尺寸通常约为1立方厘米或稍小，或者为与加工方向轴平行的圆柱形。
EBSD制样方法一般包括以下几个步骤：切割、镶嵌、研磨和抛光。不同的制样方法有其特定的优缺点。例如，机械抛光可以快速地去除样品表面的粗糙度，但可能会引入应力；而电解抛光可以消除机械抛光可能产生的应力层，但操作相对复杂且时间较长。
EBSD制样方法比较
1.机械抛光+振动抛光
优点：方便，快捷
缺点：试样表面破坏，存在残余应力
2.机械抛光+化学抛光
优点：简单、方便、最常用、抛光工艺要求不高
缺点：不同金属要用不同的化学抛光液
3.机械抛光+电解抛光
优点：方便、快捷、可重复、最常用，无机械变形、可自动化
缺点：抛光工艺（抛光液配方、参数）摸索需要较长时间、抛光不均匀或者形成凹坑、边缘容易被腐蚀、抛光区域有限、电解液有毒
4.机械抛光+离子减薄
优点: 适合所有材料, 尤其脆性材料和小样品。它也适合已经制备EBSD样品, 去除表面的氧化层和表面污染
缺点: 设备贵, 限于制备小样品( 小于10 mm )
5.FIB切割
优点：微观区域进行抛光、效率高、精度高
缺点：抛光面积小、成本高
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