电子背散射衍射（EBSD）是一种基于扫描电子显微镜（SEM）的技术，可以对样品的微观组织进行分析、可视化和定量。
虽然这种技术最常见的缩写是EBSD，但有时称为“EBSP”（严格意义上讲，这是指电子背散射衍射花样）或“BKD”（背散射菊池衍射）。
典型的EBSD面分布图，显示了部分再结晶Ni样品中晶粒内部的变形，以及重合位置点阵（CSL）晶界的分布。这个数据集采集了15分钟，包含超过300万个单独的测试点
为什么要使用EBSD
EBSD是SEM的成熟附件，用于表征微观组织。EBSD采集的数据是呈空间分布的，可以用面分布图和图像来显示，从而可以详细检查不同样品的局部特征。EBSD 是一种高度自动化的技术，现代的商业系统能够每秒分析数千个衍射花样：这使得利用高空间分辨率扫描样品表面，采集所有需要的数据，来进行整体的微观组织表征成为可能。
当电子束轰击到样品表面时，EBSD 提供了轰击处样品详细的晶体学性质信息；ESBD通常与能谱仪（EDS）结合使用，可以补充分析测量样品的成分。因此集成了EBSD和EDS的测量系统，提供了更全面的微观组织表征，包括：
相鉴定、相分布
晶粒尺寸数据
晶界表征
织构（晶体择优取向的程度）
局部应变变化
所有这些信息都可以从一个EBSD数据集导出，其空间分辨率可达nm尺度，样品分析区域可覆盖若干mm2。
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EBSD是如何工作的
EBSD工作时，稳定的电子束与倾斜的晶态样品相互作用，产生的衍射电子形成衍射花样，可以通过荧光屏检测到。在电子束与样品相互作用的点（或体积）位置上，衍射花样携带了样品的晶体结构和取向的特征。因此衍射花样可以用来确定晶体取向，区分晶体学上的不同相，表征晶界，并提供局部晶格完整性的信息。
当电子束以网格形式在多晶样品上扫描时，可以测量每一点上晶体的取向，得到的面分布图揭示了晶粒的形态，取向和晶界。这些数据也可以用来显示样品中的晶体择优取向（即织构）。因此，EBSD可以很容易地建立一个完整的和定量的微观组织表征
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EBSD提供什么信息
电子背散射衍射（EBSD）提供的基本信息相对简单：
█每个分析点的物相识别和确认
█每个分析点晶格的3D取向
EBSD技术以这两个主要信息为基础，可以额外提供许多微观组织的测量信息，如下所示。
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EBSD提供的微观组织信息
大多数EBSD分析是完全自动化的，其中相和取向数据，可以从样品表面由点组成的栅格区域中快速采集。然后利用这些数据，以相分布图或取向分布图的形式，重构微观组织，并从这些数据中提取进一步的信息
相
EBSD经常用于绘制样品中相的分布并测量相的面积分数。区分不同的相，可以仅基于晶体学上的差异，也可能包含化学信息（来自能谱仪，EDS）。典型的输出是相分布图，以及各个相对应的面积百分比。EBSD还可以和EDS联用，来帮助鉴定样品中的未知物相（例如析出相）。这种“相鉴定”方法十分快捷（例如：通常耗时10~60秒），但是要求配备适合的物相数据库，因此就其本身而言，并不是真正的物相鉴定。
织构
晶体取向数据是EBSD技术最基本的输出数据，因此，它是测量织构（也称为晶体择优取向）的理想技术。EBSD速度快，并且同时提供空间分辨的信息，因此我们能确定织构在样品中的变化，这使得EBSD技术相比于其他织构分析手段，如XRD或中子衍射更具有优势。但是，EBSD只能提供样品表面的织构测量，除非结合原位切片分析的方法。织构测量是一系列样品类型的典型分析方法，尤其是在金属加工行业和地质科学（在地质科学中晶体择优取向（CPO）用于推断特定滑移系的启动）。
织构的表示方法：1）极图（PF） 2）反极图（IPF）
极图
反极图
晶粒
EBSD取向面分布图提供了晶体学取向的空间分辨信息，从中可以推导出严格的晶粒尺寸和形状。这些信息包括：
晶粒大小
晶粒形状/形貌
晶粒平均取向
晶粒内部取向变化
孪晶比例
晶界
从EBSD的取向测量结果，还可以推导出样品晶界的详细晶体学信息。这使得EBSD技术比其他技术更有优势，因为它提供了有关晶界本质的完整信息和完美的统计信息。从EBSD面分布图推导出有关晶界的信息包括：
晶界取向差信息
晶界旋转轴
晶界迹线
特殊晶界识别
完整晶界长度统计
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EBSD样品的制备方法
（1）机械抛光：是最普遍，适用范围广，抛光效率高，但样品表面容易产生应力及机械损伤。
（2）电解抛光：导电性好，根据不同的材料选择不同的抛光液，且电解抛光参数如电流密度、电压、电解液温度、抛光时间等需要参考资料，并经过大量实验摸索出来。 注意：部分多项合金由于不同像电解速率不同，不适合电解抛光。
（3）振动抛光：通过振动带动磨颜料样品产生三个方向，上下里面螺旋振动，吐饿到更少的变形、更平整的表面以及减少边缘的磨损。
（4）离子抛光：使用惰性气体高能离子束对样品表面轰击，从而得到较为平整的微观表面。离子抛光适用于大多数材料，其抛光效率较好，但成本较高，效率也较低。
（5）FIB加工
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总结
EBSD技术是材料科学的重要表征手段之一，已广泛应用于多个研究领域。从近年来重要期刊（如 Acta，MSEA，JAC，MD等）所发表文章的内容来看，EBSD表征对文章质量的提高起着重要作用。越来越多的科研青椒们感觉到现在发稍微好点（二区及其以上）的文章基本离不开EBSD技术了，所以深度挖掘EBSD的数据信息并正确利用相关理论进行分析，会让你发文章得心应手。与金相，透射，XRD，扫描等表征手段所得数据相比，EBSD数据信息量非常丰富，而且取向信息更直观，这些数据无论对于工业生产还是发表论文，都有重要作用。
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