XBAR™谐振器结构示意图
3种BAW谐振器的截面结构对比
Akoustis公司的XBAW滤波器技术
优化滤波器解决方案，满足未来连接需求：
Akoustis公司的XBAW® 是一种基于 MEMS 的专利技术，经过优化，可满足最严格的频率选择性要求，具有出色的谐振器特性，非常适合 2 至 7GHz 范围内的频率。
Akoustis公司的XBAW滤波器技术
通过利用专有的 MEMS 工艺流程，在 6 英寸 Si 基板（可扩展至 8 英寸）上展示差异化滤波器性能，采用独特的晶圆工艺，在压电材料合成/成分方面具有灵活性。该工艺与芯片、引线键合、晶圆级封装 (WLP) 兼容，并允许实验设计 (DOE，design-of-experiments ) 探索压电质量对 RF 滤波器性能的影响。
Akoustis公司为何选择高纯度 AIN 压电材料：
高纯度单晶 AIN 压电材料的好处
Ø在宽厚度范围内保持声学特性，可实现高频应用；
Ø始终保持低摇摆曲线 FWHM；
Ø始终保持测量到的高声速；
Ø增强的晶体质量使 XRD FWHM 缩小 40 倍（0.028º vs. 1.26º）；
Ø单晶 AlN 提供增强的压电特性（d33、e33）；
Ø经证实功率处理能力 > 10W @ 3.7GHz；
Ø增强的 XBAW® 工艺和材料特性以及更佳的 FOM (k^2 * Q) ，可以在 2 至 7 GHz 的频率范围内实现差异化滤波器性能；
Ø更高的 Q 因子使滤波器裙边更陡峭，从而减少了对较低 TCF 的需求；
Ø更高的 耦合k^2因子， 可实现更宽的带宽；
Ø高声速和热导率可实现更高的功率处理；
Akoustis公司的XBAW滤波器能够交付更佳的性能：
Akoustis公司的XBAW滤波器的FOM值
XBAW射频滤波器技术专利的申请和授权时间
XBAW滤波器技术的专利申请情况
Akoustis公司申请了大部分的XBAW专利：
行业的XBAW滤波器技术的专利申请情况
