昨天的文章我们讲述了卓胜微的射频滤波器之路，在文章后半段我们提到2023年底，卓胜微的普通SAW滤波器已逐步升级到MAX-SAW，此前有读者朋友也留言想了解一下这个MAX-SAW，今天我们就一起来看看这个独特的名称SAW滤波器有什么神秘之处。由于滤波器代工产能难以获得，卓胜微毅然选择自建芯卓SAW滤波器产线，该产线15个月即通线，完成首款滤波器晶圆样片流片。截至2022年末，历经2年芯卓SAW滤波器产线就全面进入规模量产，自产SAW和高性能滤波器进入规模量产，2023年在SAW滤波器的工艺研发平台已搭建完毕的基础上，卓胜微自建产线围绕设计、工艺、材料等方面不断探索，滤波器产品的生产制造能力稳步上升，产品从普通SAW滤波器逐步升级拓展到MAX-SAW(高端SAW滤波器，采用 POI衬底，具有高频应用、高性能等特性，性能在sub-3GHz以下应用可达到 BAW 和FBAR 的水平)，大幅提升性能、工艺材料的迭代速度，成本优势显著。POI衬底在压电层和功能层表面以下增加额外的氧化埋层，从而改善频率温度系数（TCF）和品质因数（Q）。normal SAW利用在石英、钽酸锂或铌酸锂等压电基板上创建交错的金属叉指式换能器（IDT），将电输入信号转换为声波。TC SAW则是集成在单晶铌酸锂上，且将IDT电极埋入二氧化硅层中，从而提高了频率温度系数（TCF）和品质因数（Q）。由于在normal SAW基板结构中，声波沿表面传播，在电极下达到几个波长，体声波辐射模式则是出现在基板深处，这导致体声波泄露，使Q因数、TCF和耦合降低。而创建一个新的多层结构（或称之为TC-SAW的变型），则能降低这种泄露，即在压电层和功能层表面以下增加额外的氧化埋层，将在表面传播的SAW引入压电层和功能层，这会将声学能量限制在表面附近，从而改善TCF和Q因数。![]()
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POI SAW在5G滤波器方面或将成为取代TC SAW和BAW的更优解决方案。POI衬底相比TC-SAW和BAW方案，可以提供更高性能的谐振器，在品质因数、耦合系数、频率温度系数等各测量维度均有优势。通过对比可以发现，基于POI衬底的SAW能源效率更高，比TC-SAW的能源损耗更小。相对BAW来说，POI SAW工艺流程更简单且成本更低。TC-SAW一般用于低频段和中频段的滤波技术，BAW则一般用于中频段和高频段，而POI衬底的SAW可以解决中频段和高频段这两个频段的技术难题，或将在5G滤波器方面成为取代TC-SAW和BAW的更优解决方案。
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对于卓胜微暂时没有BAW滤波器投资计划来说，当下自有品牌MAX-SAW基于POI衬底，性能在sub-3GHz以下应用可达到BAW和FBAR的水平，或是取代TC-SAW和BAW的更优解。
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