昨天,国内外2个SiC衬底项目迎来关键节点:
天科合达:
碳化硅二期项目开工
11月12日,据“天科合达”官微消息,旗下“第三代半导体碳化硅衬底产业化基地建设二期项目”开工仪式在北京顺利举行。天科合达总经理杨建、天科合达常务副总经理彭同华等公司领导出席开工仪式。
据“行家说三代半”此前报道,二期项目位于北京市大兴区大兴新城东南片区,包括生产厂房、化学品库、危废库、一般固废库、综合楼、门卫等;天科合达拟购置长晶及附属、晶体加工、晶片加工等工艺设备,新建6-8英寸碳化硅衬底生产线及研发中心,以及相关配套设施。
项目用于扩大公司碳化硅晶体与晶片产能,同时建设研发中心以对生产工艺和参数持续进行优化和完善,投产后将实现年产约37.1万片导电型碳化硅衬底,其中6英寸导电型碳化硅衬底23.6万片,8英寸导电型碳化硅衬底13.5万片。
天科合达指出,该扩产项目旨在打造行业内领先的智能化生产线,量产8英寸碳化硅衬底。该项目全面投产后,公司的产能将得到显著提升,进一步巩固其在碳化硅衬底市场的领先地位。
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SK Siltron CCS:
获近35亿补贴用于SiC项目建设
11月12日,美国能源部(DOE)宣布了一项4.815亿美元(约34.8亿人民币)的贷款给SK Siltron CCS公司,以扩大其在美国的车规SiC晶圆的制造。
据“行家说三代半”此前报道,SK Siltron在美国密歇根州拥有2个SiC衬底工厂:
● 2019年SK Siltron以4.5亿美元(约29亿人民币)将其收购了杜邦的SiC部门,成立了美国子公司SK Siltron CSS;杜邦原先在美国密歇根州奥本市拥有SiC衬底工厂。
● 收购杜邦SiC业务后,SK Siltron表示追投3亿美元,在密歇根州贝城建立第2家碳化硅衬底工厂,以扩大碳化硅晶圆制造和研发能力。
2022年3月,贝城SiC工厂正式投入运营,年产量预计将在6万片;新工厂同步进行第二阶段的扩建建设,此前SK Siltron曾表示,到2026年美国的碳化硅衬底项目投资金额合计要达到6亿美元(约41亿人民币)。
据介绍,第二阶段扩建预计2025年完成,届时SK Siltron的6吋碳化硅衬底产能将增加到每年50万片。
今年1月,SK Siltron CSS还与英飞凌签订了SiC晶圆供应协议,将为英飞凌提供150mm碳化硅(SiC)晶圆,以支持其SiC产能扩充。在后续阶段,SK Siltron CSS将协助英飞凌向8英寸SiC晶圆过渡。
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