编者寄语:
啊,标题好像不太严谨,电镜实验室环境对电镜本身是没有什么影响的,影响的只是成像质量,影响的只是电镜能否呈现最佳性能。这不是废话,许多新用户都问过我,“振动超标?电镜这么精密的仪器,会不会震坏呀?”“磁场超标?电镜会不会磁化呀?对操作人员有没有影响呀?”某公司的扫描电镜和透射电镜,身历汶川地震(具体位置在绵阳)而毫无影响,地震后开机,一切正常。几个几十个毫高斯磁场既不会磁化电镜也不会影响操作人员健康(曾经查到过一个上海市暂行卫生标准,该标准认为,五高斯以下磁场是安全的,5个高斯!还远着呢)。跑题了跑题了,打住。
电子显微镜工作时,精细的电子束要在很高的真空环境中飞行0.7米(扫描电镜)到2米以上(透射电镜)。一路上,周边的磁场、脚下地面的振动、空气中有噪声还有气流,这些都会诱使电子束偏离我们期望它走的路径,直接致使成像质量变差,所以对于周边的环境就有一些特殊的要求(其它大多数仪器都是电子乖乖地在导体和半导体中流动,基本不会被周边环境干扰),以确保电子束能够规规矩矩,不乱跑乱动。
在本专题系列讨论中,DC特指频率在0.001~1Hz的准直流(即near DC,也有称为近直流的)电磁干扰,AC特指为以50Hz为基频、不超过五次谐波(250Hz)的交流电磁干扰。对电镜干扰大的不是均方根有效值,而是峰峰值(peak to peak,简写为p-p),以后不特别说明的都是峰峰值。比如3mG,就是峰峰值为3毫高斯(3mGauss p-p)的电磁干扰。为什么特地说明一下呢?因为各种手持式简易磁场测试仪显示的都是均方根有效值,测出的数值往往比我们相知道的峰峰值小许多(电源的高次谐波越严重,波峰因数就越高,实测中碰到过波峰因数超过10的情况)。
纯直流磁场只会使全部电子束稳定偏移相同角度、也就是只会使全部像素点稳定偏移相同的方向和距离,并不会影响成像质量;350Hz以上的高频AC(除非刻意制造,否则很难见到它们踪影)电磁干扰对成像质量影响极小,实际工作中可以忽略,所以我们后面就不讨论它们啦。
振动也是一个经常谈起的话题,低频微振是我们重点关注对象(很遗憾我们人类很难直接查觉。曾经不止一次有人在测试现场质疑我的测试结果,理由就是“我怎么没有感觉”)。干扰电镜的振动大多数不是由某振动源单一产生的(特殊情况时也会有关闭某一振动源后环境振动明显变化现象),多数情况下不能简单地依靠关闭振动源来解决振动问题,我们将在后面陆续展开的专题中分别讨论。
噪声声波(还有气流,就是空调吹出来的风啦)都会作用在镜筒上引发振动,对电镜成像质量的影响等同于振动。注意讨论振动时一定不能忽略频率,离开频率谈振幅,就是什么什么来着,呵呵。为什么又要特地说明一下呢?因为各种手持式简易噪声测试仪没有傅里叶变换,显示的数值参考意义不大(咳,还是说有点参考价值吧,怕抬杠)。
地线对电镜的影响往往超乎大多数人的想象。什么?一根地线有什么可大惊小怪的?哎哎,这也是电镜实验室环境的特殊性之一啦,我们在后面详细讨论吧。
对了,还有UPS。故弄玄虚吧?不就是个不间断电源嘛,这玩意儿现在到处都是,也有什么说道吗?不好意思,还真有,我们后面慢慢聊。
本专题系列中,我们主要想讨论以上几方面问题,没漏掉什么吧?好吧,出发!
正文:
被动式低频电磁屏蔽主要有两种方法,区别在于屏蔽材料:一种是使用高导磁材料(如钢、硅钢、玻莫合金等),另一种是使用高导电材料(如铜、铝等材料),虽然两种方法的工作机理不同,但是均可达到较好的减弱环境磁场效果。
A.使用高导磁材料(以下简称磁路分流法)的理论依据是:使用高导磁材料将一个有限空间A全维度包裹起来,在环境磁场强度为Ho时,由于高导磁材料的磁阻远远小于空气(普通Q195钢板磁导为4000,硅钢为8000~12000,玻莫合金为24000,空气为近似1),借用欧姆定律可以知道,当Rs远小于Ro时,Hi将远小于Ho。磁力线被低磁阻材料分流,有限空间A内的磁场强度下降到Hi,达到消磁效果(参见图一和图二。其中Ri为A空间的空气磁阻,Rs为屏蔽体的磁阻)。屏材内部的磁畴在磁场作用下产生振动,将磁能以热量的形式耗散。
由于硅钢和玻莫合金都存在导磁率各向异性、施工时不能敲击和折弯焊接(虽然理论上可以热处理改善,但实际上面对这样大型的固定式产品,那是不可能的,办不到啊),所以它们实际效能要大大打一个折扣!不过在某些特殊部位,不需要敲击折弯和焊接的情况下,做补充或加强还是可以的。
高导磁材料价格昂贵,所以在电镜磁屏蔽中一般不会大量应用,仅见于少数特殊部位(如门缝、波导口等)。
磁路分流法的屏效与屏材厚度有关,大致成线性相关,理论上可以做到无限小。
B.使用高导电材料(以下简称感生磁场法)的理论依据是:使用高导电材料将一个有限空间全维度包裹起来,环境磁场以其电场分量作用于屏蔽体,产生感生电动势,进而产生感生电流以及感生磁场。从电磁学基本原理可知,这个感生磁场与原有磁场大小相同(由于存在电阻,所以会略小一点)、方向相反(由于存在相位差,所以相位略有滞后),这样有限空间内的磁场被抵消,强度下降,达到消磁效果。
有兴趣还可以参考三相异步鼠笼式电动机的工作情况,这样可以对感生磁场法有进一步的理解,注意异步鼠笼式电动机无论如何不可能达到旋转磁场(50Hz×60s=3000转/分钟)的转速,因为那时鼠笼条不能切割磁力线,也就不能产生感应电流、不能产生感生磁场、失去驱动力了。
感生磁场法的屏效与屏材厚度在一定范围区间内无关。
C.两种方法的共同之处:拼接焊缝需要全满焊、焊缝高度不得低于屏蔽体母材厚度;必须注意各种尺度的开口及波导口设计。设计/制作是否成功,将严重影响屏效(适用木桶短板理论)。另外还需注意,屏蔽室內电镜位置的震动不得大于周边环境(曾经多次检测到磁场合格了,震动却反而比原来更大造成超标)。
从它们的基本工作原理可以看出(磁畴在DC磁场下不会振动以产生热能的形式消耗磁场能量;DC磁场也不能产生感生反向电动势),磁路分流法和感生磁场法对DC完全无效。对near DC也基本无效(必要时还是要配备一套主动式消磁器改善near DC电磁干扰)。
D.简单列个表格比较一下吧(相同部分就不说了):
优 点 | 缺 点 | |
磁路分流法 | 成本低,屏效可调(理论上无限) | 重量较大 |
施工制作方便 | 施工制作难度略大 | |
感生磁场法 | 重量较轻(铝) | 使用有色金属材料 |
基本机理决定屏效有限 |
仔细分析下来,还是磁路分流法占优。据本人非准确统计,国内现有磁屏蔽约400~600个,其中大多数是磁路分流法,感生磁场法估计约十分之一二。
主动式低频消磁器在本系列之四《主动式低频消磁系统》中介绍过了,这里就不重复了,直接比较一下吧。
与制作重量大、工期长、额外占用空间和成本高的低频电磁屏蔽相比。主动式低频消磁器体积小重量轻价格低、对环境无影响、可以后期购买安装等优点是很突出的。
不过还有一点必须说一下:磁屏蔽往往是个“交钥匙”项目,就是说做磁屏蔽时往往连带把电、水、空调、照明、网络还有监控什么的统统包括进去了,如果反正要改造的话,性价比倒也挺高的呢。
总体说来,被动式磁屏蔽的效果优于消磁器,但是由于前述原因,某些环境下也只能选配消磁器。
扫描电镜一般几种方法都区别不大,透射电镜建议还是尽量选用磁屏蔽(差点忘了说,透射电镜对磁场要求一般比扫描电镜要高一大截呢,呵呵)。
(待续)