勘误二:
“独立电源和独立地线(这两个是电干扰的主要来源)”(见原文第四页),恰恰180°相反。当属笔误。
TESCAN原文三:
勘误三:
“主动式减振对于常见的低频震动减除效果优于被动式减振,所以高端电子显微镜一般会配置主动减振”(见原文第五页),此说错误。从减震机理来看,被动式减震效果比主动式好(原因另文讨论)。但是很多情况下,被动式减震制作不规范甚至错误,从而没有起到应有的减震效果。但这并不是被动式减震机理的问题,不可混为一谈。诚然,被动式减震很多环境下难以实施,这时只能选用主动式低频减震器改善,实属不得已而为之。
TESCAN原文四:
勘误四:
“磁场产生的原因很多,手机的基站……会产生磁场干扰”(见原文第六页),此说错误,会误导用手机信号强弱来检验低频干扰磁场。手机基站辐射频率为900MHz或1800MHz,中频5G在2.5~3.7GHz,高频5G在25~39GHz与电镜敏感电磁频率相差六到八个多数量级,电镜看不见的。
TESCAN原文五:
勘误五:
“磁场超标情况下拍摄的SEM图像”(参见第七页原图)。此图片毛刺长度一致、毛刺间隙相同,所以为典型的三次谐波(150Hz)通过电源线或者公共地线串入所致应与以说明。少数情况下,在FFT变换后的频域上,如果检测到三次谐波幅值等于甚至大于基波的话,基本可以判定为空间干扰,否则一般就判定为通过电源线或者公共地线串入的干扰。参见图三。原因不同,则应对措施当然不同,不可错判。正常情况下工频基波与高次谐波在频域的包络线参见图四。
TESCAN原文六:
勘误六:
“未受振动(左)和受到振动(右)影响的扫描电镜图像对比”(参见第七页原图)。所示二图非同一样品,可比性不佳。观察毛刺(无论由振动或磁场产生)应该使用锡球(Tin ball)标样,因其外轮廓具有等高性。
TESCAN原文七:
勘误七:
“图1:图像异常放大、收缩(左)图像扭曲失真(右)”(参见第六页原图)。此二图所示与扫描电镜工作原理不符,均为不可能发生。
补充八:
必须强调,独立电源不能通过从变压器副边专门拉一路线来构成,变压器同一副边的其它致使电源谐波系数加大设备产生的高次谐波干扰,不能通过单独放线来滤除,独立电源必须使用独用的变压器,或者1:1的隔离变压器(另行讨论)。