怎样区分冷冻水、工艺冷却水和冷却塔的功用?

文摘   2024-10-14 08:06   陕西  

欢迎关注泛半导体厂建分享,来搞或交流请加微信huangyunwen4989

Sharing On the Construction of Pan - Semiconductor Factories.


1.冷冻水、工艺冷却水和冷却塔的用途:
1)冷冻水:用于洁净室环境控制、PCW工艺冷却水、纯水的制备、变电所的散热;
2)工艺冷却水(PCW):工艺设备(不光芯片制造的设备和一些切、磨、抛的设备和附属设备,基本都是采用PCW工艺冷却水降温);
3)冷却塔:即一般冷却水,冷却塔里的这些冷却水,主要用于动力设备冷却,如冷冻站、空压机等CUB内大型设备的散热;
2.各自的关联:
      冷水机组的作用是通过制冷剂(多见为R134A)这一冷媒循环来与冷冻水、工艺冷却水进行热交换。冷冻水有中温或低温冷冻水,PCW则相当于是CUB冷冻系统的一个分支(实际上是“比较高温的冷冻水”),没有自己的独立系统,工艺冷却水经冷水机组热交换后降低热量。
      冷却塔和冷冻水、工艺冷却水相对独立,也可称为“一般冷却水”,也就是上面提到的用于冷冻站、空压机等的大型设备的散热。那么为什么不直接用PCW对冷冻站、空压机等进行散热呢?主要是因为PCW采用电力供能,代价较高,同时工艺设备降温用水水质要求相对亦较高(一般为初级纯水)。而对冷冻站、空压机等进行散热时,水质要求相对较低,利用冷却塔散热,与大气热交换,性价比则尤为凸显。这也是将冷却塔直接位于CUB屋面之上的原因。
3.水温范围:
(1)冷冻水:温度通常较低,进水温度通常在12℃~18℃左右,出水温度一般在6℃~12℃左右(半导体厂的冷冻水供水温度一般分低温(6℃左右)和中温(12℃左右)两种,用以满足不同的设备需求);
(2)工艺冷却水:温度相对较高,一般进水温度在35~40℃左右,出水温度30~35℃左右。
(3)冷却塔冷却水:一般进水温度一般在30℃-40℃,出水温度在25℃-32℃。
~~~
泛半导体厂建》力争全面的涵盖面板、半导体厂房建设过程中行业发展、工艺技术、政府流程、设计、招投标、组织管理等多方面有价值的学习内容,与您一起成长!

申明:部分图片、视频来自于网络,如有侵权请联系删除。


欢迎关注公众号“泛半导体厂建分享”,并加作者微信huangyunwen4989交流吧!

加作者微信huangyunwen4989,进入“泛半导体厂建分享交流群”,与同袍共同学习、交流、进步!

加作者微信huangyunwen4989,北京地区读者可同时进入“泛半导体联盟-北京分会”,与同袍共同学习、交流、进步!

点击以下链接,继续浏览本文相关内容


Semi Dance
一个爱跳舞的半导体民工~
 最新文章