半导体气垫车是一种专门用于半导体设备搬运或运输的特种车辆：
结构组成
• 气垫模块：是核心部件，由环形气囊和承载板构成。气囊充气后膨胀成圆环，空气进入气室形成承载压力，并向四周泄气与地面形成薄空气膜，以此减小摩擦阻力.
• 气管系统：包含主气管和副气管，负责输送压缩空气至气垫模块，保障气垫的正常充气和稳定工作.
• 控制器：可调节和控制气垫模块内的气压，确保气垫车在不同载重和工况下都能保持稳定的悬浮状态，实现精准的移动、旋转和定位.
工作原理
通过压缩空气作为动力源，使气囊膨胀，空气进入气室建立承载压力并形成空气膜，让车辆悬浮于地面之上，从而能够以极小的推力实现移动、旋转和定位等操作，且对地面压力小，能有效保护地面.
特点优势
• 防震平稳性高：悬浮作业极大地减小了震动和晃动，对于精密的半导体设备而言，可避免内部零部件出现偏差和损坏，确保设备的精度和性能不受影响.
• 机动性良好：载重情况下能原地360度旋转，转向灵活，定位精准，在空间有限的场所或需要精确对位的情况下，具有很大的优势，能够有效提高搬运和安装的效率.
• 地面适应性强：对地面的平整度和硬度要求相对较低，可在多种地面条件下使用，如环氧地坪、聚氨酯地坪等，且不会对地面造成划伤和损坏.
• 环保无污染：以气源为动力，无需电源驱动，无油污排放，不会产生噪音和废气污染，特别适用于清洁室、无尘车间等对环境要求较高的场所.
应用领域
主要用于半导体设备制造、生产、安装及运输等环节，也广泛应用于其他精密仪器设备的搬运和运输，如光电系统设备、实验室设备、医疗设备等.
半导体气垫车主要应用于以下场景：
• 半导体设备制造与生产：在半导体芯片制造过程中，从光刻、蚀刻到离子注入等各个环节所使用的设备都极为精密，气垫车可在设备制造车间内将这些设备精准地移动至相应工位，确保设备安装的准确性和高效性，减少因搬运造成的设备损坏和精度偏差。
• 半导体设备安装与调试：在无尘车间或洁净室内，气垫车能够在不损伤环氧地坪等特殊地面的前提下，平稳地搬运半导体设备至指定位置，并实现毫米级的精准定位，保证设备安装调试的顺利进行，有助于提高半导体生产的良品率.
• 半导体设备运输与配送：对于一些需要在不同生产基地或车间之间转移的半导体设备，气垫车可提供恒温恒湿的运输环境，确保设备在运输过程中的稳定性和可靠性，如冲发半导体设备恒温气垫运输的无人驾驶车，为半导体设备运输保驾护航.
• 其他相关领域：除半导体行业外，半导体气垫车还广泛应用于其他对设备精度和搬运平稳性要求较高的领域，如光电系统设备、实验室设备、医疗设备、航空航天制造等精密仪器设备的搬运和运输.
以下是一些半导体气垫车的国内外生产制造厂家：
国内厂家
• 烟台开发区龙海起重工具有限公司：其“龙升牌”气垫搬运车由控制器、主/副气管、气囊等组成，有多种载荷规格，具有悬浮地面作业、所需推力牵引力小、模块可自由组合等特点，适用于半导体设备搬运等多种精密设备搬运场景.
• 动凯半导体设备安装(上海)有限公司：可提供半导体设备等的搬运、悬浮气垫平移、搬移、高空吊装、安装服务及恒温恒湿防震气垫车综合运输服务.
国外厂家
• 芬兰Solving：其亚洲公司为客户提供悬浮气垫、气垫车与客制化产品等的销售、保养与维修服务，产品在半导体设备搬运等领域有应用.
• AeroGo, Inc.：提供多种载荷规格的气垫车，应用于半导体、航空、船舶、制药等多个行业，可根据客户需求提供定制化解决方案.
• Air Lift Hovercraft：从事中小型气垫车的设计与制造，提供从业务规划到售后服务的一系列服务，还提供现场评估、路线规划建议等咨询服务.
