文章来源：石头科普工作室
原文作者：倪怀玮教授课题组
本文介绍了电子探针的主要原理及应用。
电子探针分析仪是广泛应用于材料科学、地球科学等领域的基础研究工具。它主要是利用聚焦的电子束去轰击固体样品表面，激发出样品中各种元素的特征X射线，再通过对X射线的波长和强度检测，实现对样品中元素组成和含量的测定。同时，激发出的二次电子、背散射电子也可以成像，提供样品表面高分辨率的形貌信息。
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