IMC生长速率解析——IMC烘烤条件如何定义

2024-10-27 22:25   陕西  

 前面在IMC的那篇文章,有个朋友在评论区问了个问题——"对比175及210℃,为什么Cu IMC在235℃时生长速度会出现明显加速?"

说实话,当时看到这个评论的时候,我也没敢去往深了想,因为想了也白想。但是过了几天,突然回忆起曾经自己做IMC时候的经历,貌似与这位朋友遇到的问题如出一辙,只是当初没有那么较真。

当时为了方便,我们把产品直接放在WB设备的轨道上进行烘烤,尝试了175℃烘烤4h,200℃烘烤4h,结果均不理想,于是便把温度加高到250℃,结果仅烘烤了半小时,IMC几乎附满,按照当时浅薄的理解,觉得这玩意应该是趋近线性才对,为什么会有这么大差异也是有点颠覆认知。

于是便在此打开资料库,发现多年前曾经收藏了一篇有关IMC的文章,该文章是由上海复旦大学和日月光合作完成的作品,标题如下:

而在这篇文章中的部分重要结论,引用了以下两篇论文:

其中论文【4】在网上很容易搜到了,而【5】则未搜到相关信息,就只能直接套用其结论。下面我就将《铜线键合Cu/Al界面金属间化合物微结构研究》《铜级金丝与铝合金焊盘键合的金属间化合物生长和可靠性》的研读结果与大家做个分享。

文中首先根据Cu-Al IMC在不同温度下的生长实验数据,拟合出了IMC厚度随时间以及时间的平方根下的曲线类型,再根据IMC生长厚度经验公式,分析出其时间常数:

结合该两篇文章,以及"Westbrook 的IMC 生长理论",影响IMC生长速率的因子为温度、晶格类型、原子尺寸、电负性、价电子数、原子序数、结合能等,其中除了温度外,其余因子在材质确定后均为常数,因此可认为温度一定时,IMC生长速率为常量

结合上图数据,IMC厚度与老化时间的平方根成线性变化,此时K的平方根则为直线的斜率,为常数,因此通过实验数据分析可得出n=2.

此时该经验公式则更新为:

同时可将实验数据带入公式中,得到不同温度下IMC生长速率关系:

文中同时提到,IMC的生长速率和温度的关系,可通过"扩散论中的Arrhenius 方程"表示:

对方程进行变换后,带入R以及不同温度下IMC生长速率数据,即可计算出K0=1.2055*10^(-7);∇Q=97.1KJ/mol(实际数据带入计算结果有些许误差,主要由小数点后四舍五入引起,这里直接采用原文计算结果)。

将答案带入原方程则有:

也就是那位提问的朋友最终分享出来的公式。

将最终的两个公式在excel中拟合,可以看到IMC生长速率随老化温度的变化呈指数趋势增长,235℃时老化1h相当于210℃的温度老化3h。

讲到这里可能大家会问到,既然温度温度会对IMC的生长造成这么大的影响,那么检查铜线IMC时,到底用多大温度合适?

这个问题老实说以前我没想过,不过今天貌似想明白了,我们考核的IMC,其实就是芯片封测后刚到客户手中的状态,而在WB后,主要对IMC影响的工序是塑封后固化(PMC)工序,其烘烤时序决定了最终到达测试端的IMC生长状态,而PMC的典型温度为175℃,时间根据不同塑封料、不同工厂工艺有所差异,以下是几个封装厂某产品的PMC固化时序:

由此可见,IMC烘烤条件应以恒温时间、温度为参考较为合理。

声明:本文引用了大量公开发布的论文中的公式及数据,若存在侵权,请联系本人删除!

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