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地震发生时，台积电南科厂区测得的最大震度达到了5级，为了确保员工的人身安全，厂区立即按照公司内部程序启动了相关安全预防措施，迅速进行了人员疏散。凌晨1时许，所有员工已全部完成清点，确认无人受伤，各厂区也完成了建筑震后损害检查，确认建筑结构安全无虞。
据中国台湾媒体，中广新闻网报道，地震发生后，台积电立即召集了生产线人员以及设备等供应商，紧急投入到机台设备移位、晶圆破损等后续善后工作的抢修中。据供应链传出的消息，台积电3纳米和5纳米的先进制程Feb18厂，作为新建晶圆厂，其防震系数相对较高，但此次地震仍导致约3-4成的设备受到移位等影响，损失不亚于去年4月3日的地震。据统计，18A、18B两厂的破损晶圆数量约在2.5万片至3万片之间。
同时，台积电12寸晶圆Feb14厂也遭受了不小的震损。据供应链消息，估计有一半的机台设备受到了影响，14A与14B两厂的破损报废晶圆数量更是超过了3万片。此次地震给晶圆十八厂和晶圆14厂带来的整体损失，恐怕直追去年4月3日的地震，损失金额预计达到30亿元新台币以上(约9150万美元)。
18、14两厂累计报废晶圆数量差不多6万片！
目前，台积电正全力以赴进行抢修工作。据最新消息，晶圆18厂预计将于23日达到100%复机，准备恢复正常生产。而晶圆14厂仍在全力抢救中，复机时间表尚未明确。台积电表示，将尽最大努力尽快恢复生产，以减少地震对公司运营和客户的影响。
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