SEMI-e 深圳国际半导体展
前情提要
9月9日，工信微报微信公众号发文披露《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。其中，在电子专用设备一栏，氟化氪光刻机、氟化氩光刻机位列其中。该资料显示，氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度。
此外，据国家知识产权局专利公告，9月10日上海微电子公布一则发明专利《极紫外辐射发生装置及光刻设备》，内容涉及极紫外辐射（EUV）发生装置及光刻设备。
光刻机概念爆发
9月18日，东方财富概念板块中，光刻机（胶）板块排名靠前，板块整体涨幅达2.47%。其中，同飞股份、波长光电20%涨停，蓝英装备涨超10%，海立股份、凯美特气、张江高科、京华激光等均涨停，新莱应材、容大感光、南大光电等涨超4%。
民生证券指出，海外半导体设备供给持续高增满足短期扩产需求，国产光刻机技术亦在持续突破，利好半导体设备自主可控的长期发展，继续看好国内晶圆厂的投资增长和国产半导体设备的国产化机遇，建议关注：北方华创、中微公司、拓荆科技、中科飞测、精测电子、芯源微、华海清科等。
光刻机概念持续活跃
9月19日，证券时报e公司讯，光刻机概念继续活跃。凯美特气、海立股份涨停，张江高科涨超6%，波长光电、京华激光、苏大维格等跟涨。
张江高科受关注，主要因为其曾投资上海微电子公司。张江高科于9月10日在投资者交流平台表示，公司通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资了上海微电子公司2.23亿元，持有上海微电子10.779%的股权，后续未增持或减持。
东兴证券称，国内企业中，上海微电子是目前中国第一家也是唯一家光刻机巨头，出货量已占国内市场份额超过80%，产品主要涉及ArF、KrF和i-line领域，其已具备90nm及以下的芯片制造能力。
东海证券研报显示，中国2023年进口光刻机数量高达225台，进口金额高达87.54亿美元，进口金额创下历史新高，预计3年至5年内我国光刻机主要依赖进口。一台先进的光刻机有多达10万个零部件，整体来看我国半导体零组件的国产化率非常低，尽管在各个赛道均有相关的国有企业在不断发展，距离海外企业依然有较大的差距，同时也预示着国内零组件企业公司有较大的发展机遇。
参考来源：每日经济新闻、证券时报、东方财富网
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2025 SEMI-e第七届深圳国际半导体展
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