三种光学线性编码器

文摘   2024-11-15 07:51   河南  

研究了一下光学线性编码器,国内的供应商就不少了(虽然规格参数看起来不是特别高):长春禹衡光学(奥普光电子公司)、锐鹰传感技术、上海精浦、苏州安必轩微电子、广州市信和光栅数显、廊坊莱格光电等等。国外的就是传统的公司,三丰、海德汉等等。

找资料的时候,看到有一家做光电编码器芯片的公司叫“传周科技”,看他们的客户群体,以机器人为主,这个切入点看起来很棒。(非广告,仅是学习笔记)


一、成像扫描原理

简单地说成像扫描原理用透射光生成信号:两个栅距相同或相近的光栅与扫描掩膜彼此相对运动。扫描掩膜的基体为透明色,而作为测量基准的光栅材料可为透明材料也可以为反光材料。

当平行光穿过光栅时,在一定距离处投影形成明/暗区。扫描光栅位于此处。当两个光栅相对运动时,入射光被调制:在狭缝对齐时,光线通过。如果一条光栅的栅线与另一条光栅上的狭缝对齐,光线无法通过。光电池组将光强变化转化成电信号。扫描掩膜的特殊栅状结构将光强调制为近正弦输出信号。

光栅条纹的栅距越小,扫描掩膜与光栅尺间的间距越小,公差越严。

二、干涉扫描原理

干涉扫描原理是用精细栅状结构的光衍射和光干涉生成位移信号,测量运动。

阶梯光栅作为测量基准:在平整反光表面上刻有高度为0.2 μm的反光线。其前方是扫描掩膜,其栅距与光栅尺的栅距相同,是透射相位光栅。

光波穿过扫描掩膜时,将光波衍射为光强近似的三束光:+1、0和-1。光栅尺所衍射的光波是反射的衍射光+1和–1中光强最强的光束。这两束光波在扫描掩膜的相位光栅处再次相遇,再一次被衍射和干涉。也形成三束光,并以不同的角度离开扫描掩膜。光电池将这些交变的光强转化成电信号。

当光栅与扫描掩膜之间有相对运动时,衍射波面产生相位移:移过一个栅距时将正一级衍射波面在正方向上偏移一个光波波长,而负一级衍射光波面在负方向上偏移一个光波波长。由于这两束光离开相位光栅时相互发生干涉,这两束光彼此相对位移两个光波波长。也就是说,相对运动一个栅距可以得到两个信号周期。

干涉光栅尺的栅距较小,例如8 μm、4 μm甚至更小。其扫描信号基本没有高次谐波,能进行高倍频细分。因此,这些光栅尺特别适用于小测量步距和高精度应用。

三、全息型原理

全息型编码器在标尺上采用了全息衍射光棚。LD 光源发出光束经偏振分束镜分为两路,入射于全息标尺上。为了避免模糊或者划痕,全息光棚放在两块玻璃板之间。

索尼公司开发的全息编码器仅用了一个标尺,它配有间距为0.55μm 的全息衍射光栅;标尺的长度几乎和所用光源的波长一样。其中一路沿右方向传播的光束经光栅衍射后到左方向,然后衍射光经反射镜反射后,回到光栅和偏振分束镜处。经过光栅的两次衍射,使得光束位相发生了△φ=4πx/p 偏移,式中x表示标尺的位移,p为光栅栅距。另外一束沿左方向传播的光束经两次衍射后,位相偏移φ=-4πx/p两束光在光电探洌器前面的分束镜处发生干涉。干涉信号的强度随{t标尺位移的变化而呈正弦形式变化。光强变化周期为8πx/p,是位相变化一个周期的4倍。接收信号的周期为p/4,4个周期的位相变化对应标尺位移变化一个栅距p ,若光栅栅距为0.55μm ,则信号间距为0.14μrn 。

采用4 个探测器接收干涉信号。1/4 波片及半透半反镜使干涉光束分成位相差为90 ° 的两个信号。从4 个光电探测器输出的位相相反的信号进行相减,通过电子线路产生一周期为0.14μm的正弦与余弦信号。经电阻分压和A/D转换,正弦与余弦信号进行4000 次插值。这种编码器的分辨率可达到0.034nm。这种全息光栅型编码器不仅有高的分辨率,而且不受振动、空气波动及空气压力变化的影响,这是因为它是一种双对称结构的光学系统。

参考资料:
1、光学计量手册  原理与应用_(日)吉泽彻编_北京:国防工业出版社 , 2015
2、海德汉直线光栅尺资料
3、Handbook of Optical Systems, Volume 5 Metrology of Optical Components and Systems 
4,传周科技官网


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