准分子激光器的购买和操作成本比汞弧灯更高。至少，它需要维护激光室、波长稳定模块和带宽变窄模块。激光器还占用更多的工厂空间。人们应该非常小心辐射对眼睛的伤害。与汞弧灯不同，汞弧灯具有可见的输出以提醒旁观者，而 KrF 和 ArF 准分子激光器的输出是完全不可见的。只有在事后才能意识到损坏。因此，采用了许多安全联锁装置，以防止在任何情况下将激光束暴露给人类。
准分子激光器的工作频率为数 kHz，每年可发出数百亿个脉冲。其寿命和维护通过其发出的脉冲数来衡量。现代光刻准分子激光器的寿命约为 150 亿个脉冲（腔体）和 200 亿个脉冲（波长稳定和带宽变窄模块）。日常维护包括清洁 F2 阱和输出耦合器。前者在几百次新填充后需要清洁，后者在 70 亿个脉冲后需要清洁。准分子激光器通常每月进行微调，以恢复波长漂移、带宽和能量稳定性。
