1.电
电给光刻机里面各种马达 电路板 电柜提供能源。
2.真空
真空用于光刻机内部的wafer /reticle 的固定，clamp.
3.CDA压缩空气
用于机台上的各部件达到相关功能，如空气轴承Air bearing/一些气动原件的动作行程等。
4.XCDA/N2 等洁净度要求高的气体
用于光刻机内部零件的purge
5.PCW/UPW
冷却水，用于机台内部运动部件/镜头等的冷却
6.clean Air
用于机台冷却保持一个稳定的温度和提供机台正压，防止particle 进入机台
7.CO2
在immersion机台中的immersion hood 用于切断水流
8.XCHA
immersion 机台中的加湿气体 用于机台的气流稳定
