如何插入OCOVL、根据Base DRC要求它的Halo应该如何设置?

科技   2024-06-12 18:20   上海  


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如何插入OCOVL、
根据Base DRC要求它的Halo应该如何设置?

如何在后端工具中插入OCOVL

在刚开始的时候需要把OCOVL的LEF加入到LEF列表里面。

在做完Floorplan之后可以用下面的命令去插入OCOVL并且去设置它的位置和方向,设置成fixed不让工具去动它,主要要满足前面说的DRC的要求,每2mm*2um的window内必须得有一个OCOVL:

# add OCOVL

addInst -inst ocovl_inst -physical -cell IDOVSMIC1010C

placeInstance ocovl_inst "787.755 790.1" R0 -fixed


OCOVL的Base DRC要求,它的Halo/keepout margin应该设置多少

OCOVL的Base DRC要求如下:

OCOVL_3_SN_G,它要求OCOVL到周边的AA, Poly, SN, SP等等layer的距离必须大于等于2um:

那么我们在后端设计中能否给OCOVL上下左右都加上2um的Halo/Keepout margin呢?


答案是不行的,因为标准单元里面的一些Base Layer是会伸出Boundary一段距离的,所以要加的Halo的值是需要大于等于2um的,具体要加的最小值是需要去分析它们的Base layer的。

如果你不分析直接加上下面的Halo的话是可能会出现下面的DRC的:

addHaloToBlock 2 2 2 2 ocovl_inst ;#left bottom right top

可以看到PR工具里面Halo虽然满足了要求,上方的距离都有2.06um,左右是2.135,下方是2.5(上下左右的距离和Halo距离不一致是因为工具会snap到row site上),可是依然是无法满足DRC要求的,因为在GDS里面SN到OCOVL的距离其实是小于2um的(具体值见星球原文),所以违反了Base DRC,此时是需要去修改Floorplan的,问题是比较大的,所以项目早期就需要提前检查这种问题,提前算好Halo所需要加的最小值!!!

有的人可能会说不想麻烦能否设置一个非常大的值呢?一者是具体增大多少不会引起问题,你可能无法确定,如果增大非常多的话会非常浪费面积,不划算,你也没有学到什么有用的知识,所以建议是自己深入研究计算一下。


下面给出我的详细分析和计算:

…完整内容及相应专题见知识星球…


OCOVL详细讲解 - 6 OCOVL的Base DRC要求,它的Halo/keepout margin应该设置多少

https://t.zsxq.com/yz2Gg


OCOVL详细讲解 - 5 如何在后端工具中插入OCOVL

https://t.zsxq.com/r9EcK


OCOVL详细讲解-4 Milkyway抽取OCOVL的脚本分享

https://t.zsxq.com/QROPz


OCOVL详细讲解-3 如何抽取OCOVL的LEF以及遇到的问题

https://t.zsxq.com/w8qar


OCOVL详细讲解-2 OCOVL在Floorplan和DRC上的要求

https://t.zsxq.com/AR3Zm


OCOVL详细讲解-1 OCOVL的含义及作用

https://t.zsxq.com/14Yn1mFHo




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