《如何抽取OCOVL的LEF以及遇到的问题》
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关于OCOVL相关的全部知识已经上传到知识星球:
OCOVL详细讲解 - 1 OCOVL的含义及作用
OCOVL详细讲解 - 2 OCOVL在Floorplan和DRC上的要求
OCOVL详细讲解 - 3 如何抽取OCOVL的LEF以及遇到的问题
OCOVL详细讲解 - 4 Milkyway抽取OCOVL的脚本分享
OCOVL详细讲解 - 5 如何在后端工具中插入OCOVL
OCOVL详细讲解 - 6 OCOVL的Base DRC要求,它的Halo/keepout margin应该设置多少
OCOVL的全称是:On Chip OVL或者On Chip Overlay
以SMIC 28nm工艺为例:
OCOVL(CAD层,OCOVL在GDS里面的layer和data type为:91.5)结构的目的是方便测量多层Layer之间的覆盖(overlay)并且在大芯片里面将其控制在一个合理的范围内。它将合理化Overlay的目标分布,并实现高阶校正建模。
SMIC提供两种类型的片上OVL mark,即从Poly到AA的OVL mark(OVL_GT_AA)和从CT至Poly的OVL mark(OVL_CT_GT)。
一个OCOVL单元GDS同时在水平和垂直方向上提供了OVL_GT_AA和OVL_GT_AA的组合。CAD层OCOVL(91.5)是片上OVL cell所必须的。
关于OCOVL在Floorplan和DRC上的要求可以看下面这个推文:
OCOVL详细讲解 - 2 OCOVL在Floorplan和DRC上的要求
OCOVL详细讲解 - 4 Milkyway抽取OCOVL的脚本分享
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