OHT是什么?

文摘   2024-11-07 20:30   河南  

半导体制造工厂使用的搬送系统OHT (空中走行式无人搬送车)

一种自动化搬送装置,能够在空中轨道上行驶,并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口。
“OHT”是Overhead Hoist Transport的简称。这一系统被广泛认定为300mm FAB及下一代FAB的主力搬送系统,目前不仅应用于工序区内部运输,也应用于工序区间或工厂间运输。 



  目前半导体用AMHS系统市场主要由国外企业占据主导,包括日本大福、日本村田机械、韩国SEMES等,其中日本大福是全球AMHS系统市场龙头。半导体用AMHS系统性能影响着晶圆整体产线的运营,出于谨慎原因,晶圆厂不会轻易更换AMHS系统厂商,因此新兴国产AMHS系统企业进入该领域存在极高的门槛。

村田机械

日本大福科技
大福株式会社(株式会社ダイフク,Kabushiki-gaisha Daifuku)是一家日本物料搬运设备公司,成立于 1937 年,总部位于大阪。截至 2017 年,它已成为全球领先的物料搬运系统供应商。
该公司最初名为坂口机械制作所有限公司,1944 年更名为兼松机工,1947 年更名为大福机械制作所有限公司。其现名大福株式会社自 1984 年开始使用。
公司名称由两部分组成:Dai 是“大”字的名称之一,指的是大阪市;fuku 指的是京都福知山,当时是其第二个生产基地。
SEMES
SEMES由三星电子于1993年成立,是生产半导体和显示器制造设备的重要子公司。目前,Semes的产品主要包括半导体前道工序领域的清洗(LOTUS、BLUEICE PRIME)、Phototrack(OMEGA-S、OMEGA-K)、蚀刻(Michelan O3、Michelan C4)设备,还有后道工序的Bonder、Probe、Test Handler等设备。其中,蚀刻设备是Semes的主要收入来源,占其总收入的30%。

成川科技(苏州)有限公司(以下简称:成川科技)



Semi Dance
一个爱跳舞的半导体民工~
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