半导体制造工厂使用的搬送系统OHT (空中走行式无人搬送车)
一种自动化搬送装置,能够在空中轨道上行驶,并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口。
“OHT”是Overhead Hoist Transport的简称。这一系统被广泛认定为300mm FAB及下一代FAB的主力搬送系统,目前不仅应用于工序区内部运输,也应用于工序区间或工厂间运输。
目前半导体用AMHS系统市场主要由国外企业占据主导,包括日本大福、日本村田机械、韩国SEMES等,其中日本大福是全球AMHS系统市场龙头。半导体用AMHS系统性能影响着晶圆整体产线的运营,出于谨慎原因,晶圆厂不会轻易更换AMHS系统厂商,因此新兴国产AMHS系统企业进入该领域存在极高的门槛。
村田机械
公司名称由两部分组成:Dai 是“大”字的名称之一,指的是大阪市;fuku 指的是京都福知山,当时是其第二个生产基地。
成川科技(苏州)有限公司(以下简称:成川科技)