半导体设备中最常见的模块便是晶圆传输机器人,按晶圆在机器人上的接触方式可分为真空吸盘式机器人,和晶圆边缘接触式机器人。
半导体晶圆传输机器人主要企业有
川崎
RORZE乐孜芯创
布鲁克斯
DAIHEN
平田機工株式会社
安川 Motoman
电产三协(Nidec Sankyo)
JEL Corporation
Shibaura Machine
Robostar
Robots and Design (RND)
HYULIM Robot
RAONTEC Inc
Cymechs Inc
Tazmo
Rexxam Co Ltd
爱发科
Kensington Laboratories
爱普生
Hine Automation
Moog Inc
Innovative Robotics
史陶比尔
isel Germany AG
三和技研
新松机器人
上银科技股份有限公司
昀智科技
上海广川科技有限公司
PHT Inc.
1.kawasaki
川崎重工从昭和44年(1969年)开始生产第一台日本国产的工业机器人。
作为工业机器人制造商中的先驱者,我们基于在过去50多年的历史中所积累的技术和经验,面向汽车、电机、电子等各行业,开发并供应包括焊接、组装与搬运、涂装、码垛等用途的高质量、高性能的川崎机器人。
自动化、省力化、提升生产性和品质、改善工作环境等,我们致力提出可满足客户需求的解决方案。
川崎重工业株式会社(KHI)(川崎重工业株式会社,Kawasaki Jūkōgyō Kabushiki-gaisha)是一家日本公共跨国公司,总部位于日本东京港区,主要生产摩托车、发动机、重型设备、航空航天和国防设备、机车车辆和船舶。该公司还积极生产工业机器人、燃气轮机、泵、锅炉和其他工业产品。该公司以其创始人川崎正三的名字命名。川崎重工业与三菱重工和石川重工并称为日本三大重工业制造商。第二次世界大战前,川崎重工业是神户川崎财阀的一部分,其中包括川崎制钢和川崎汽船。战后,川崎重工业成为 DKB 集团 (keiretsu) 的一部分。
川崎正三出生于 1836 年,从小就涉足航海业。他曾经历过两次海上灾难,但他将自己的幸存归功于船舶的现代化。这促使他决定为日本航运业创造技术创新。1878 年,在努力寻找业务后,他收到了第一笔订单。这标志着该公司在该行业的起步。
1886 年,川崎将业务从东京迁至兵库。这为他的公司订单增加和更名为川崎造船厂提供了空间。1894 年甲午中日战争期间,船舶需求上升,新公司以川崎造船厂有限公司的名称上市。松方幸次郎被任命为公司第一任总裁。
1906 年开设新工厂后,川崎开始实现产品多样化。第一次世界大战结束后,他们开始为铁路、汽车和飞机行业生产零部件。战后,随着 1912 年盟军武器限制协议的签署,川崎面临造船业的大幅下滑。1929 年,大萧条给公司带来了大量财务问题。
二战期间,川崎是 Ki-61 等战斗机的主要制造商,该机导致许多美国机组人员丧生。之后不久,他们将战斗机的进气口改装到高速摩托车上。1947 年,政府出台了一项新的造船计划,提高了川崎的利润,帮助公司恢复了元气。公司得以恢复所有运营,到 1950 年代,日本已成为世界上最大的造船国。
到了 20 世纪 60 年代末到 70 年代,川崎开始退出造船业,并实现公司多元化,生产摩托车、水上摩托艇、桥梁、隧道掘进机和飞机。他们还为纽约地铁系统提供技术先进的火车车厢。
1995 年,川崎重工与中国达成协议,生产有史以来最大的集装箱船。这导致该公司在 1996 年宣布利润高于预期。然而,盈利后不久,该公司的业务长期下滑,迫使他们寻找解决方案。
由于该公司在 21 世纪持续亏损,它与石川岛播磨重工业公司成立了一家合资企业。然而,到 2001 年底,该协议终止。在接下来的几年里,川崎重工业公司的利润和亏损一直波动。
2.Rorze成立于1996 年,是在半导体界世界闻名、日本排名第一的晶圆搬送机生产商。 Rorze主要专门从事半导体晶圆、LCD 基板的Robot 传送筛选机的开发制造、销售与售后维修服务。 Rorze的目标是在世界各地开发多样化的自动化设备,在半导体和平板产业中提供各式产品服务和需求。
3.brooks 布鲁克斯
从 1978 年成立之初,brooks的创始人 Norman 和 Frank Brooks 就勾勒出了一个愿景,即通过应用创新技术、系统专业知识和密切的客户合作伙伴关系来提供自动化解决方案,从而改变半导体制造的生产力,从而为制造业创造价值。他们的信念是:建立最好的团队,与客户紧密联系,专注于创新我们所做的一切。这一信念创造了持续的价值,使 Brooks 成为全球自动化领导者,并且它仍然是我们公司的基础。
今天,我们是半导体行业内大多数全球工艺设备和设备制造领导者的首选合作伙伴。我们的客户选择 Brooks Automation 平台,因为我们始终如一地提供创新、一流的可靠性和拥有成本,并提供针对其应用价值进行优化的解决方案。我们通过对应用挑战的理解来创造价值,提供大规模解决方案,为我们的客户创造自动化优势。
Brooks Automation 平台的基础是全球 1000 多名致力于客户成功的团队成员。我们将创新的机电一体化、先进的运动和视觉控制以及智能软件与深厚的系统和应用知识相结合,提供运输、处理、存储和纯度方面的解决方案,这些解决方案在第一次和每次都有效。我们全球卓越的运营中心得到了与客户密切合作的广泛服务专家网络的支持。
Brooks Automation 平台正在半导体行业内迅速扩张,并已成为生命科学实验室自动化领域协作机器人的首选。随着我们将平台扩展到新行业,我们的客户信任我们经过验证的能力,并继续选择 Brooks Automation 来创造自动化优势。
2023 年是我们成立 45 周年,我们正以前所未有的速度朝着我们的愿景迈进,即成为多个细分市场全球领导者值得信赖的自动化合作伙伴。我们的商业模式成功和对价值创造的关注使我们能够继续增加对客户卓越的投资,并将 Brooks Automation 平台扩展到新的细分市场。我们继续赢得客户的信任,同时加速半导体、实验室自动化和新兴市场的价值增长。
我们将继续投资,为我们的客户、员工、投资者、合作伙伴和社区创造可持续的价值。我们的机会从未如此广阔,我们的投资能力从未如此强大,我们的团队也始终是最好的。我们是 Brooks – 我们提供自动化优势。
4.Daihen
公司簡介 日本OTC (DAIHEN Corporation),成立於1919年,是日本最大專業溶接/ 切斷設備及ROBOT製造廠,其自行研發生產之焊接機械人,搭配自社研發之各種用途之焊接機及各種多彩多姿之周邊設備,一體規劃設計,功能超強,焊接效能品質絕佳,配上中文化操作軟體是產業界工業自動化最得力助手。
4.Yaskawa
安川电机株式会社 (株式会社安川電機,Kabushiki-gaisha Yasukawa Denki) 是一家日本伺服器、运动控制器、交流电机驱动器、开关和工业机器人制造商。他们的 Motoman 机器人是重型工业机器人,用于焊接、包装、装配、涂层、切割、物料搬运和一般自动化。
该公司成立于 1915 年,总部位于福冈县北九州市。安川电机于 1969 年申请了“机电一体化”一词的商标,并于 1972 年获得批准。[7] 总部位于北九州,由美国建筑师安东宁·雷蒙德于 1954 年设计。[8]
该公司在东京和福冈证券交易所上市,是日经 225 股票指数的成分股。
5.JEL
领先的清洁机器人制造商
JEL 被誉为“领先的清洁机器人制造商”。
JEL 机器人
自 1993 年成立以来,JEL 已成长为半导体和 FPD 玻璃基板清洁机器人的领先制造商。
JEL 机器人已被全球 2,800 多家客户使用,这为我们赢得了高品质产品和稳定供应系统的声誉。
JEL的名称 JEL 以“job enjoy life”的首字母缩写命名,旨在通过享受工作和私人生活来获得令人满意的生活。
JEL 公司网络
以总部为中心,JEL 在日本拥有 3 个销售和制造基地。
此外,JEL 的海外网络通过中国子公司、韩国分公司以及美国、韩国、中国的海外代理商和合作伙伴覆盖国际市场。
6.Hirita
HIRATA Corp 是一家日本公司,主要生产和销售各种生产线系统、工业机器人和物流设备。该公司制造和经营包括汽车、半导体和家用电子产品在内的各个领域的生产系统。
6.Nidec
Nidec(尼得科)公司在全球已拥有近300家集团企业,是一家生产包括各类小型、大型马达电机产品的、为所有“转动体、移动体”提供专业服务的“全球颇具实力的综合马大电机制造商”。为了让企业实现更大的成长,本公司在不断提高集团旗下各企业的技术力量、市场竞争力的同时,积极地开展以那些在马达电机产业领域中拥有先进技术的企业为对象的企业并购活动。
在短短40年中成就今天的地位凭借的是创业以来一贯坚持追求“精益求精”的精神。“热情、热忱、执着”、“智慧型奋斗”、“立刻就干!一定要干!干到成功!”的三大精神助我们成为业内翘楚,这就是本公司的个性,又是本公司的优势。
7.新松机器人
沈阳新松机器人自动化股份有限公司(英语:SIASUN Robot & Automation Co., Ltd;深交所:300024,简称:机器人)是隶属中国科学院的机器人生产公司。
2000年4月于沈阳创办,其名字源自中科院院士蒋新松。该公司目前利用中科院沈阳自动化所的机器人技术,生产机器人包括:rh6弧焊机器人、rd120点焊机器人及水切割、激光加工、排险、浇注等特种机器人、机器人控制器。
2005年《福布斯》发表“2005中国潜力100强”排行榜时,新松机器人自动化有限公司居48位。[2]
2006年,新松公司和密歇根州大学联合创办的“中美超限制造与自动化联合研究中心”正式成立;新松公司被国家三部委评为“全国首批103家创新型试点企业”。