环氧乙烷(Ethylene Oxide，EO)可在常温下能杀灭各种微生物（包括细菌、芽孢、病毒、真菌孢子等），EO是一种烷化剂，穿透力强，能够使用各种包装材料并且可以在包装状态下灭菌，适用于不耐高温处理的生物医用高分子材料，比如天然橡胶、聚乙烯、聚丙烯及聚氯乙烯等。
环氧乙烷（Ethylene Oxide，EO），又名氧化乙烯，具有分子小，结构不稳定的三元环，有很强的穿透性和化学活泼性。EO在4℃时为无色透明液体，密度为0.884g/mL，沸点10.8℃，具有芳香的醚味。EO可与任何比例的水相溶，也可溶于有机溶剂或油脂。
由于EO易燃、易爆，且对人有毒，所以必须在密闭的EO灭菌器内进行。
美国化学家Lloyd Hall在1938年取得以EO消毒法保存香料的专利，该方法直到今天仍有人使用。由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，EO和二氧化碳的混合气体已成为目前最主要的日常低温灭菌方法之一。
EO灭菌原理是通过其与蛋白质分子上的巯基（-SH）、氨基（-NH2）、羟基（-OH）和羧基（-COOH）以及核酸分子上的亚氨基（-NH-）发生烷基化反应，造成蛋白质失去反应基团，阻碍了蛋白质的正常生化反应和新陈代谢，导致微生物死亡，从而达到灭菌效果。
用EO杀菌气体灭菌时，灭菌柜内的温度、湿度、灭菌气体浓度、灭菌时间都是影响灭菌效果的重要参数。
