SECS（Semiconductor Equipment Communications Standard）log即半导体设备通信标准日志。
从定义来讲，它是半导体制造设备在运行过程中，按照SECS通信协议所记录下来的设备活动和状态信息的文件。
SECS协议用于设备和主机之间的通信，以确保半导体制造过程自动化控制的有效进行。
从内容角度看，它包含了设备操作的详细记录，比如设备何时启动、停止，各个加工步骤（如光刻、蚀刻、沉积等）的具体时间点和参数。
还包括设备状态的记录，像设备温度、压力、气体流量等参数的变化情况，这些参数对于保证生产质量和设备正常运行非常关键。
从作用方面讲，它是生产过程追溯的重要依据。
在产品出现质量问题时，通过SECS log可以回溯设备在生产该产品时的具体操作和状态，帮助定位是哪一个环节出现了异常。
同时，也有助于设备维护，工程师可以根据日志中的信息提前发现设备潜在故障隐患，安排预防性维护，延长设备使用寿命。
而且在工艺优化中，分析这些日志数据能够了解设备在不同工艺条件下的性能表现，从而为优化工艺流程提供数据支持。
SECS log的格式不是固定不变的，会因设备制造商、设备类型以及具体的应用场景而有所不同。一般有以下格式
文本格式
• 纯文本格式：最常见的是类似ASCII码的纯文本格式。这种格式的日志文件可以用普通的文本编辑器打开查看。
其中，每一行记录可能代表一个事件或者一个数据点。
例如，日志行可能包含时间戳、事件类型、设备ID、参数值等信息，各部分之间用特定的分隔符（如逗号、制表符等）隔开。
• XML格式：部分SECS log采用XML（可扩展标记语言）格式。
XML格式具有良好的结构性和扩展性，便于数据的解析和交换。
在XML格式的日志中，数据被组织成树形结构，通过标签来标识不同的元素，如<设备状态><参数名称>参数值。
这种格式可以清晰地描述复杂的数据关系，并且可以方便地进行数据验证。
二进制格式
• 一些情况下，为了提高存储效率和记录速度，SECS log也会采用二进制格式。这种格式的数据不是人类可读的形式，需要使用专门的软件工具进行解析。
二进制格式能够更紧凑地存储数据，并且在记录大量高频数据时，可以减少存储占用空间和记录时间。
不同格式的选择主要取决于设备的存储能力、数据记录速度要求、数据处理的方便性以及与其他系统的兼容性等因素。
SECS（Semiconductor Equipment Communications Standard）日志，一般包含以下信息：
设备状态信息
• 设备运行模式，如待机、运行、维护等状态。例如设备在生产过程中处于“运行”状态，日志会记录“设备运行，正在进行芯片蚀刻工序”。
• 各个子系统状态，像光刻系统的光源是否正常开启、机械臂是否归位等。比如“光刻系统光源正常，强度为XX，机械臂已归位”。
工艺过程数据
• 加工工艺的参数，在半导体制造中会涉及众多参数。例如在化学气相沉积（CVD）工艺里，记录“沉积温度为500℃，气体流量为XX sccm（标准立方厘米每分钟），反应室压力为XX torr（托）”。
• 工艺步骤的顺序和时间戳，详细记录每个工艺步骤的开始时间和结束时间，比如“10:00开始光刻步骤，10:15光刻步骤结束，进入刻蚀步骤”。
设备通信相关信息
• 设备与主机之间的通信状态，包括连接是否正常、通信错误代码等内容。例如“设备与主机通信正常，无报错”或者“通信出现故障，错误代码为XXX，可能是通信线路问题”。
报警和错误信息
• 设备故障报警，记录设备出现故障的部位和故障类型。例如“温度传感器故障，当前显示温度异常，设备暂停运行”。
• 工艺异常报警，当工艺参数超出设定范围等异常情况时记录。比如“刻蚀深度超过设定值，报警提示工艺异常，需要检查刻蚀设备参数”。
