1.最关键的Laser chamber
激光器利用高压把打到chamber里面的气体，使得激光气体处于激发状态，以此产生193nm/248nm的激光器。
2.激光监控系统
用于监控产生的激光波长/能量，并且持续反馈给控制器，来得到波长能量稳定的激光
3.电源控制系统
用来产生高压电，激发气体。
4.Laser shutter
一个物理挡光装置，阻挡激光发射🚀
5.光刻机与激光器的交互界面
用于光刻机与激光器的信号交流，指令控制
6.气体控制监控系统
气体的流量检测管理，尾气排除，以及气体泄漏检测，由于激光器用的是特殊气体，泄漏浓度达到一定程度可能会导致中毒F2或者窒息N2/He.因此在操作激光器时最好自带一个气体缺氧检测装置，防止气体泄漏，发生人员伤亡事故。
7.操作面板paddle
用于查看激光 气体 的状态 对激光器进行操作
8.连锁装置interlock
安全着想，小心激光伤人
9.冷却装置
用PCW /风扇/风机 进行激光器内部冷却，进水出水口，冷却回路，Drain水口。
