在 EUV 掩模版物理格式标准确定后，人们的注意力转向了掩模版载体。由于人们长期以来认为不可能制造足够大的薄膜作为防护膜，因此采取了额外的措施来保护此类载体中的 EUV 掩模版免受颗粒污染。最终，佳能和尼康联合提出了双盒载体，88 它既有内壳，也有外壳，如图 4.30 所示。还为这种盒制定了 SEMI 标准 (E152)。89 在工具中使用时，光罩可以保留在内壳中，从而提供额外的污染保护。当 EUV 防护膜开始出现时，双光罩盒设计被修改为提供防护膜的机械间隙。90,91 图 4.31 显示了双盒载体的图片。
