半导体产业网获悉：近日，晶驰机电开发的8英寸碳化硅（SiC）电阻式长晶炉顺利通过客户验证，设备稳定性和工艺稳定性均满足客户需求。
图1 8英寸碳化硅晶验收晶锭
技术创新，引领未来
此次推出的8英寸碳化硅电阻式长晶炉，是晶驰机电针对当前市场需求精心打造的先进半导体材料制备新装备。
该设备采用独特的结构设计，结合最先进的过程控制理论和自动化控制方法，实现了长晶过程中工艺参数的精准控制和设备运行的高度智能化。通过创新的热场设计，实现均匀的径向温度和宽范围精准可调的轴向温度梯度。热场稳定性高，使用寿命长，大幅提升了晶体的质量和良品率。
图2 8英寸碳化硅电阻式长晶炉
电阻法工艺：简化操作，加速普及
与传统的感应式碳化硅单晶设备相比，晶驰机电开发的电阻法SiC长晶炉简化了工艺设计流程，热场稳定性高，热场使用寿命长，多炉次生长单晶的一致性好，特别适合大尺寸碳化硅单晶生长。这一系列特点使得电阻法设备尤其适合希望快速进入SiC单晶生长领域但又缺乏深厚经验基础的企业。
图3 8英寸碳化硅验收晶片位错指标
图4 8英寸碳化硅验收晶片微管缺陷指标
小批量交付，开启合作新篇章
凭借卓越的技术性能和市场适应性，晶驰机电8英寸碳化硅电阻式长晶炉已获得多家客户认可，并正式开启了小批量交付。这不仅是客户对晶驰机电技术创新能力的肯定，也是晶驰机电市场策略精准把握的证明。晶驰机电正积极寻求与更多碳化硅衬底材料厂家的深度合作，旨在共同推动SiC材料的应用普及与技术迭代，共创行业辉煌。
携手合作，共创辉煌
晶驰机电作为浙江大学杭州国际科创中心的孵化企业，将努力弘扬求是精神，秉持创新驱动发展的理念，深化产学研合作，强化自主创新能力，不断优化产品性能，提高技术成果转化效率，扩大生产规模，以满足全球市场对高性能碳化硅材料日益增长的需求。
晶驰机电销售经理赵耀表示：“我们很高兴看到晶驰机电8英寸碳化硅电阻式长晶炉项目取得成功，这不仅是公司技术进步的表现，也是我们对市场需求快速响应的结果。我们期待与更多合作伙伴共同推动半导体行业的发展。”
本次技术突破和产品验证的成功，不仅增强了晶驰机电在国内外市场的竞争力，也为中国半导体设备制造业的发展注入了新的活力。
来源：晶驰机电
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