镓仁半导体成功制备VB法(非铱坩埚)4英寸氧化镓单晶

2025-01-09 17:32   北京  

据镓仁半导体官微消息:2025年1月,杭州镓仁半导体有限公司(以下简称“镓仁半导体”)在氧化镓晶体生长领域再次取得新进展通过对自主研发的氧化镓专用晶体生长设备进行迭代优化升级,采用垂直布里奇曼(VB)法成功生长出4英寸氧化镓单晶,这是国内首次实现该项技术突破。该型VB法氧化镓长晶设备及工艺包全面开放销售。


【图1 镓仁半导体VB法4英寸氧化镓单晶底面】

【图2 镓仁半导体VB法4英寸氧化镓单晶顶面】


值得一提的是,本次镓仁半导体采用了细籽晶诱导+锥面放肩技术来生长4英寸氧化镓单晶,相较于无籽晶自发成核和等径籽晶技术,更容易确保晶体质量。其中,籽晶与晶体轴向平行于[010]晶向,可加工4英寸(010)面衬底。


在此之前,镓仁半导体经历了从等径籽晶生长2英寸单晶到细籽晶诱导+锥面放肩技术生长2英寸单晶的研发过程,最终确定了细籽晶诱导+锥面放肩的路线,并实现了4英寸单晶生长的突破。


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2024年12月,杭州镓仁半导体有限公司(以下简称“镓仁半导体”)在超宽禁带半导体材料领域取得重大突破镓仁半导体与下游客户携手,对镓仁半导体(010)面氧化镓半绝缘衬底进行了深入的器件验证工作。成功制备了性能卓越的增强型晶体管,其击穿电压高达2429V,相较于进口衬底的器件验证结果,性能指标实现了显著提升。这一成就不仅展现了镓仁半导体在氧化镓衬底技术方面的领先地位,也为国产氧化镓衬底在功率器件量产应用的道路上,奠定了坚实的基础。


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来源:镓仁半导体、公开信息整理,仅供参考!


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