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近日，浦东科创集团投资企业睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“睿励科学仪器”）新生产中心启动仪式盛大举行。来自半导体产业界、投资界、银行、媒体等各界人士共同见证了这一重要时刻。
作为我国半导体装备行业“领航者”，睿励科学仪器最新光学量测设备TFX-R3和光学缺陷检测设备BriteSD300两款新产品在启动仪式现场重磅发布。睿励科学仪器新生产中心的启用是继营收破亿后、伴随刚宣布完成近5亿元市场战略融资的又一重要里程碑。
随着睿励科学仪器订单量的迅速增长，在原有张江科学城洁净生产场地达到饱和的情形之下，睿励科学仪器在张江古博路科技园扩建新的生产基地。新生产中心占地总面积4000平方米，其中千级洁净厂房2000平米，年生产产能近200台。新生产中心的投入使用，是睿励科学仪器满足新的发展需求的必由之路，成为其业务增长新的后方“阵地”。
启动仪式现场，睿励科学仪器向全球宣布在光学量检测领域的最新成果——光学量测设备TFX-R3和光学缺陷检测设备BriteSD300两款产品正式发布。据介绍，作为领先型膜厚量测新型号和实用型明场缺陷检测新型号，这两款产品采用了全新的光学设计思路，在测量波长、测量光斑、检测小尺寸缺陷能力等方面都有了重大突破，同时在检测效率上显著提升，能够更好地满足客户不同场景的量检测需求。
睿励科学仪器新生产中心启动仪式
近年来，随着国内半导体产业的快速发展和产业升级，对高端、精密的半导体设备需求不断增加。量检测设备也被认为是位列刻蚀、薄膜沉积、光刻后的晶圆厂设备（WFE）第四大市场，其规模约占半导体设备市场的13%。自成立以来，睿励科学仪器自主研发的薄膜测量、光学关键尺寸测量、光学缺陷检测等系列产品，帮助国内外生产线提高生产效率，提升良率，降低设备拥有成本，得到了市场的认可和客户的好评。
睿励科学仪器总经理&CEO杨峰
“走过将近20年发展历程，可以感受到经过生死洗礼的睿励正在焕发新的活力。”睿励科学仪器总经理&CEO杨峰在致辞中表示，新生产中心的启用将为睿励科学仪器提供更加充裕、更加完善、更加先进的研发与生产环境，提升睿励科学仪器生产制造能力，能更好、更快地为客户提供先进而稳定的集成电路量检测设备，也为睿励科学仪器进一步发展拓展空间。同时，睿励科学仪器也将以此为契机，加大研发投入，强化技术创新，拓展市场应用，不断提升服务质量。
中微半导体设备（上海）股份有限公司、睿励科学仪器董事长尹志尧
“随着集成电子芯片越做越小，量检测设备的重要性不断提高，市场占有率在不断提高。”中微半导体设备（上海）股份有限公司、睿励科学仪器董事长尹志尧表示，“睿励科学仪器是国内最早成立并长期专注于集成电路量检测设备的企业，虽然在发展过程中经过不少起伏风雨，但公司领导和员工不忘初心，排除万难，坚强生长，默默坚持技术创新和产品打磨，经过19年的沉淀和发展，公司技术不断突破，产品不断创新，服务质量不断提高，多款设备在国内外多条生产线长期稳定运营。睿励科学仪器产品最重要的就是重复性、稳定性做得最好。”
尹志尧强调，“新生产中心的启用，是公司从小批量出货到大规模量产的迈进，更是公司长期战略规划中的重要一步。一路走来，睿励科学仪器实现从无到有的蜕变，希望公司管理者和全体员工坚定信心、自立自强、厚德载物、团结奋斗，以此为起点，加强技术攻关，加快技术研发和产品的迭代，破解‘卡脖子’难题，早日实现从小到大的跨越式发展，将公司打造成国内集成电路量检测设备领域的行业标杆，为我国集成电路产业的创新发展做出更大贡献。中微半导体作为睿励科学仪器最大股东，将一如既往全力支持公司发展，共同并肩作战、共创辉煌。”
启动仪式结束后，与会人员前往睿励科学仪器新生产中心进行了参观。
编辑｜雨田
校对｜桃李
审核｜集团战略发展部
来源｜张通社、睿励科学仪器
