中科飞测公司简介

文摘   2024-10-24 14:25   河南  

深圳中科飞测科技股份有限公司

深圳中科飞测成立于2014年,公司始终坚持自主研发和自主创新的原则,依托多年在光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等领域的深耕积累和自主创新,公司得以向集成电路前道制程、先进封装等企业以及相关设备、材料厂商提供关键质量控制设备。

质量控制设备是芯片制造的核心设备之一,公司检测和量测设备能够对上述领域企业的生产过程进行全面质量控制和工艺检测,助推客户提升工艺技术,提高良品率,实现降本增效的目标。

产品简介
检测设备

无图形晶圆检测设备SPRUCE


该系列设备为自动化的无图形晶圆表面缺陷检测设备,提供先进的缺陷计数、空间分布和缺陷分类功能,检测表面类型覆盖Bare, Oxide, Nitride, Metal等。设备使用激光以多角度照明至晶圆表面,并通过样品台的多维运动实现全样品表面的快速扫描,综合分析缺陷图像,可检测出缺陷的具体类型和尺度。

    产品特点

    1、支持SECS/GEM SEMI标准,完美兼容工厂自动化系统

    2、提供无与伦比的可靠性

    3、兼顾多种工艺节点的缺陷检测尺度

    4、全面覆盖IC厂,晶圆厂及半导体设备厂的晶圆缺陷检测设备需求

    5、应用范围2~12寸包含3/5族半导体



    图形晶圆缺陷检测设备SWEETGUM

    产品介绍

    该系列设备主要应用于晶圆表面亚微米量级的二维、三维图形缺陷检测,能够实现在图形电路上的全类型缺陷检测。拥有多模式明/暗照明系统、多种放大倍率镜头,适应不同检测精度需求,能够实现高速自动对焦,可适用于面型变化较大翘曲晶圆。适用于集成电路前道和先进封装领域。

      产品特点

      1、亚微米级晶圆正背边全维度三合一缺陷检测设备

      2、灵活的模块化配置,节省成本和空间

      3、支持三模组同时在线高速数据采集

      4、可搭配深度学习算法实现高效率、高准确率ADC服务

      5、多维度测量结果评价和展示,快速聚焦工艺问题


      量测设备

      套刻精度量测设备Dragonblood


      产品介绍


      该系列设备主要应用于集成电路光刻工艺套刻误差测量,通过将数据建模并反馈给光刻机以帮助光刻机优化不同层之间的光刻图案对齐误差,最终达到提高套刻对准精度的目的。

        产品特点

        1、亚纳米级套刻测量精度,全面覆盖多种工艺需求多样化工作模式,保障工艺波动下的鲁棒性

        2、预防性诊断和自动校准,保障设备稳定运行

        3、Recipe自动优化,及数据集中管理,节约人力成本

        4、多维度测量结果评价和展示,快速聚焦工艺问题


        三维形貌量测设备

        产品介绍

        该系列设备主要应用于晶圆表面的纳米级三维形貌测量、双/多层薄膜厚度测量、关键尺寸和偏移量测量,配合图形晶圆智能化特征识别和流程控制、晶圆传片和数据通讯等自动化平台。主要应用在集成电路前道及先进封装领域。

          产品特点

          1、0.1nm精度三维表面形貌测量

          2、集成多种测量系统,实现多种工艺过程监控

          3、自动化特征位置搜索定位,自定义形貌测量结果输出上报

          4、多维度量测结果评价与展示,直观展示工艺问题

          5、配置批量导入以及数据自动上报,节约人力成本 

           

          介质薄膜膜厚量测设备


          产品介绍

          该系列设备主要应用于晶圆纳米级的单/多层膜、金属膜的膜厚测量,采用椭圆偏振技术和光谱反射技术实现高精度薄膜膜厚、n-k值的快速测量。主要应用在集成电路前道领域。

            产品特点

            1、高精度、高重复性膜厚测量,全面覆盖多种工艺需求,宽光谱椭偏仪、激光椭偏仪、反射式膜厚仪、应力等多种非接触光学探头可选,满足各种量测场景需求

            2、全自动量测任务下发及结果上报,节约人力成本

            3、多维度量测结果评价与展示,直观展示工艺问题

            4、配置离线分析和批量导入,节约机台使用时间

            软件

            良率管理系统DMS/YMS




            产品介绍

            良率管理系统软件IVY-DMS/YMS,是分析检测、量测等良率相关数据的必要工具,运用统计分析和机器学习方法,以及定制化的工作流,绘制丰富的良率报表,为工程师提供有力的决策支持。IVY能及时发现产线异常状态,协助PIE、YE、PE、AOI分析产线良率下降的原因,从而有效地提升半导体制造良率和产品性能。

            产品特点

            1、简单易用的IVY界面,拖拽分析,动态布局,高度自定义,满足您的个性化需求

            2、Browser/Server架构,快速迭代定制开发,轻松应对各种场景需求

            3、GPU运算与分布式架构,确保7x24不间断运行,百万缺陷数据流畅分析

            4、机器学习与深度学习模型,结合大数据分析,为您的根因分析、预测性维护和虚拟量测提供全方位解决方案

            5、数据安全无忧,IVY采用集群方案,负载均衡、数据备份与恢复,确保系统的稳定与可靠

            6、依据各类数据建立AI模型,预测产品良率,助力良率提升

            7、节省80%以上人力,自动化监控与良率分析助力企业效益增长


            半导体缺陷自动分类系统



            产品介绍

            产品特点

            1、可定制:针对Sinf图、2D/3D缺陷导出可以定制化输出格式

            2、任务分发:自动推送机台扫描完成的wafer,无需手动查找

            3、管理员机制:分级权限设定,不同质检员有不同的操作权限

            4、统计分析:支持良率导出、过检漏检率分析、缺陷图像导出等



            金融界 2024 年 8 月 14 日消息,天眼查知识产权信息显示,深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种检测设备“,公开号 CN202410920912.4,申请日期为 2024 年 7 月。

            专利摘要显示,本发明公开一种检测设备,包括机架、光机装置、传送装置与充气装置,光机装置包括光机舱与光学元件,其中,光机舱设置于机架,光学元件设置于光机舱内;传送装置包括传送舱与传送机构,其中,传送舱设置于机架,传送机构设置于传送舱内,用于传送晶圆;其中,光机舱与传送舱之间设置连通光机舱以及传送舱的通光孔,通光孔用于供探测光束通过;充气装置与传送舱相连接,用于向传送舱进行充气,并使部分气流通过通光孔流入光机舱。可以理解的是,充气装置向传送舱充入的少部分气流通过通光孔流入光机舱,从而可以有效地限制光机舱中的灰尘落入传送舱,进而保证了晶圆的洁净性。

            招聘情况



            Semi Dance
            一个爱跳舞的半导体民工~
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