德国新格拉斯科技集团（SINGULUS）是一家德国装备制造上市公司，位于法兰克福旁的卡尔市。公司主要从事各种真空沉积设备和表面处理设备，主要业务领域涵盖半导体、生命科学和新能源三个主要领域。在半导体领域，公司已有持续20多年的专注投入，SINGULUS 溅射机在多靶材、超高均匀性要求、精准控制薄膜厚度、磁性材料等方面拥有领先地位。受益于这些技术优势，SINGULUS 的设备也被用于自选电子学领域以外的应用。比如：光刻机部件镀膜，片上薄膜电感, RRAM,波导器件等特殊领域。
公司在半导体行业的主要引用领域拥有以下成就：
1.基于巨磁阻效应和隧道磁阻领域的各种传感器，如AMR, GMR, TMR. 在此领域市场占有率全球第一。
2. 新兴存储器件，MRAM, RRAM, FeRAM
MRAM 器件PVD 安装记录全球领先，是最早从事MRAM 的设备供应商之一；
3. 高端光学领域：是EUV 光刻机某光学器件的全球唯一供应商， 同时，SINGULUS PVD 机台被用在DUV。光刻机掩模版的镀膜。
4. 全球唯一的片上薄膜电感磁芯镀膜设备和技术提供商；用SINGULUS PVD 做的片上薄膜电感已经广泛用在了包括INTEL 和 APPLE CPU 大芯片上。
欣革鲁士科技(上海)有限公司于2018年01月18日成立。法定代表人Markus Michael Ehret，公司经营范围包括：从事涂层技术、表面处理技术、太阳能科技、半导体技术和环保科技领域内的技术服务、技术咨询和技术转让，机械设备及其零部件、涂层材料的批发、进出口和佣金代理（拍卖除外），机械设备及其零部件的安装和维修，并提供相关配套服务等。
产品
多样性
TIMARIS 集束型设备具有多种可选的沉积和调节模块，作为理想的PVD生产平台，能为半导体行业提供广泛的应用。
掌握未来
设备符合当前200 mm和300 mm晶圆厂的连接标准，与GEM300和SECS/GEM主机接口兼容，并可采用先进制程控制（APC）进行质量管控。
所有模块都适用于200 mm和300 mm晶圆（较小晶圆可借助适配器）。
经济高效
德国新格拉斯科技集团提供配置多个靶材的模块，并集成加热/冷却/磁场校准（AMF）功能，可在一个模块内高效制程复杂的多层结构，通过减少不必要的模块间转移，节省了洁净室空间和生产时间。
凭借获得专利的线性动态沉积技术（LDD），TIMARIS 集束型设备可将沉积的薄膜厚度精确控制在0.01 nm，并保证极佳的均匀性。该技术也可用于厚度在微米范围内的应用。设备能够最大程度利用靶材，降低靶材的更换频率。
目前，TIMARIS设备可根据客户需求配置出十种以上的工艺模块。这些模块包括多靶材模块、氧化处理模块、预清洁模块、复合处理模块、四靶材模块、静态沉积模块和旋转基板模块等。其中，旋转基板模块可配置最多12个阴极，用途极其广泛，可进行共溅射、直流和射频溅射。TIMARIS PVD模块集成全套溅射技术，如直流磁控溅射、脉冲直流磁控溅射和射频磁控溅射，这些模式的组合可通过配方菜单选择。
