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烁科晶体成功突破12英寸SiC！

科技 2024-12-31 10:44 广东

近日，国内又有一家企业实现12英寸碳化硅衬底突破！

据中国电子材料行业协会透露，12月26日，烁科晶体成功研制出12英寸（300mm）高纯半绝缘碳化硅单晶衬底，并同期研制成功12英寸（300mm）N型碳化硅单晶衬底，前者属于全球首发。

据悉，烁科晶体先后攻克了大尺寸扩径工艺、高纯半绝缘碳化硅衬底关键工艺和低缺陷N型衬底的生长工艺，其全球首片12英寸高纯半绝缘碳化硅衬底的成功研制，将加速碳化硅材料在VR眼镜、热沉等新应用场景的进一步拓展。

据《2024碳化硅（SiC）产业调研白皮书》调研发现，半绝缘碳化硅衬底正在面临工业级激光器热沉、消费级AR眼镜等新的市场机遇。

其中，SiC热沉所需的衬底片为4H和6H晶型半绝缘SiC衬底，一片6吋衬底大约可以做成800多片SiC热沉；AR 波导镜片所需SiC 衬底为高纯半绝缘 SiC 衬底，一片 6 英寸衬底可供 2 副眼镜，一片 8 英寸晶圆可以做成 3-4 副眼镜，一片 12 英寸晶圆大约可以做成 8-9 副眼镜。

值得关注的是，目前高纯半绝缘 SiC 主要用于军工及 5G 通信市场，国内的年需求量约为 10 万片，而 AR 眼镜市场半绝缘 SiC 未来的需求量有望达到数十万片，将成为新的蓝海市场。

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而在今年以来，国内还有3家企业透露超大尺寸碳化硅晶锭/衬底的研发成果：

2024年11月，天岳先进发布了业内首款300mm碳化硅衬底产品，未来，他们将通过增加300mm碳化硅衬底产品，打造了更多差异化的产品系列。

2024年3月，博雅新材在semicon展会上首次展示了12英寸的SiC晶锭，他们是国内少数同时拥有气相法(PVT法)和液相法(TSSG法)生产SiC单品衬底材料的企业。

2024年3月，同光股份推出10英寸碳化硅衬底，将作为未来的产品迭代技术储备。

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