获奖教师代表在清华大学2024年教师节庆祝大会上的发言
2023年度国家技术发明奖一等奖获得者
机械工程系 路新春
尊敬的各位老师、同学们： 大家好！ 我来自机械系，高端装备界面科学与技术全国重点科学实验室，很荣幸作为获奖代表发言，我发言的题目是“自立自强，持之以恒，服务国家重大需求”。 我们团队的成果“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”荣获2023年国家技术发明一等奖，化学机械抛光是集成电路制造的五大关键技术之一，难度极高。早在2000年我们团队就开始了抛光原理和工艺的研究，得到了国家自然科学基金、973等项目支持，从2008年开始得到国家专项的支持，2013年在清华大学和天津市支持下成立华海清科股份有限公司，开始了化学机械抛光装备产业化进程。2014年研制出国内首台12英寸化学机械抛光商业机型，打破了国际巨头专业壁垒和产品垄断。从2015年我们具有自主知识产权的化学机械抛光装备进入集成电路生产线至今，解决了集成电路制造中抛光装备“卡脖子”问题，此外，该项目培养的研究生在国际会议获奖10余人次，也培养了一批顶天立地的科技产业人才。 该项目历经20多年，我经常被问起，你们团队从基础研究做到产业化，成功的秘诀是什么？高校的创新成果直接转化为具有国际竞争力的商业化产品在国际上成功概率也不高，难度可想而知。我说，成功的因素有很多，最重要的是我们来自清华大学，“清华”这两个字有太多太多含义，在遇到困难挫折时，清华给我们强有力支持；在收获阶段成果时，清华激励我们奋勇向上。我经常对团队说，大家要珍惜服务国家重大需求的机会，珍惜清华，“清华”这两个字说出来是骄傲，放在心里是责任。 习近平总书记在全国科技大会、国家科技技术奖励大会和两院院士大会讲话中指出，要扎实推进科技创新和产业创新深度融合，融合的关键是强化企业科技创新主体地位，融合的途径是促进科技成果转化与应用。总书记的讲话为我们未来发展指明了方向。除了化学机械抛光装备，我们团队在攻关集成电路高端清洗装备、离子注入装备，以及三维集成电路所需的全系列减薄装备也已经形成突破。未来我们将再接再厉，充分挖掘清华大学科技创新优势，强化华海清科创新主体地位，与机械系及相关院系团队开展合作，孵化出更多的科技创新成果，在服务国家重大需求上做出清华贡献。 最后我想说的是感谢，感谢邱老师、李校长以及历任校领导们在团队最需要的各个阶段都给予了大力支持，感谢机械系、精仪系、研究生院、技转院对我们团队的帮助，感谢科研院对我们项目管理奖励提名申报全过程的悉心指导。正是学校上下团结一心，才取得今年国家技术发明一等奖的硕果，这份成功的荣誉不仅仅属于我们小团队，更属于清华大团队。 今年也是我在清华从教30周年，我已经在纳米制造摩擦学方向耕耘了30年，我个人也将以从教30年为新起点，继续为教书育人、科技创新做出新贡献。 谢谢大家！ |
路新春，清华大学机械工程系首席研究员。长期从事纳米摩擦学、纳米制造理论与技术研究，是我国最早开展纳米摩擦学研究的科研人员之一。带领团队建立了我国自主的集成电路化学机械抛光技术体系，研制出系列化学机械抛光装备并批量应用于集成电路大生产线，为我国集成电路产业技术与可持续发展作出了突出贡献。荣获国家技术发明奖一等奖（2023年，排名一）、国家自然科学奖二等奖（2018年，排名三）、国家科技进步奖二等奖（2008年，排名二）、集成电路产业创新突出贡献奖。
（摄影：李派）
