在全球科技竞争日益激烈的今天,芯片制造的技术水平成为衡量一个国家科技实力的重要标志。而在芯片制造的诸多技术中,光刻技术无疑是最核心的部分,其中光刻机更是关键设备。
当前,全球最先进的光刻技术已经进入EUV(极紫外光刻)时代,但这项技术却被牢牢掌握在少数国家手中。对中国来说,研发国产EUV光刻机已经成为突破美国芯片禁令的关键。
为什么光刻机如此重要?
光刻机是芯片制造的核心设备,通过光学成像技术将电路图案精确刻印在晶圆上。随着芯片制程技术不断向更小尺寸迈进(如7nm、5nm甚至3nm),对光刻机的要求也越来越高。
目前,全球光刻机市场几乎被荷兰的ASML、日本的尼康和佳能三家公司垄断,其中ASML占据约85%的市场份额,其EUV光刻机更是独步全球。
而中国大陆的光刻机技术发展相对滞后,目前的国产光刻机大多用于封装测试等后道工序,前道制造领域仍有巨大差距。以国内光刻机龙头企业上海微电子为例,其公开发布的设备技术水平还停留在90nm制程,与全球最先进的5nm乃至3nm制程技术相去甚远。
美国的技术封锁有多严?
近年来,美国联合日本、荷兰对中国实施了严格的光刻机出口限制,禁止EUV光刻机和高端浸润式DUV光刻机进入中国。这一禁令的核心目标是阻止中国芯片制造业在先进制程上的突破。
近期,美国更是加大了制裁力度,针对140家中国企业、24种设备、3种关键软件以及HBM内存实施全面封锁。这些措施不仅限制了中国获取先进光刻机的可能性,也对相关上下游产业链造成了严重影响。
国产EUV光刻机研发刻不容缓