超纯水又称UP水，是指电阻率达到18 MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。
可以用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。
注：“超纯水”和“纯水”并没有明确制定的标准定义。从字面上理解只是是不同纯度的问题，即涉及不同制备工艺和不同检测标准来判断。
1．超纯水关键指标，TOC（总有机碳）和硼及二氧化硅；
2．半导体的线宽的不同，对水质的要求不同，线宽越小水质要求越高；
3．电阻值是最容易达到的，TOC是最困难的，三星的水质一般都是零点几ug/L，即使要求1以下；
4．溶解氧，真空脱气塔，可以做到小于50ppb。10ppb需要使用脱气膜；
5．颗粒物去除常用有RO和终端超滤以及纳滤。
6．ppt=10-12ng/L,ppb=10-9ug/L,ppm=10-6mg/L
7．除硼一定要一个可再生的混床或者强碱型阴树脂；
8．溶解氧的要求，在进氮封水箱前要有脱气膜，脱氧之后一定要氮封；
9．抛光的循环管线，一定要一直运行，不能停，如果停下来会很久水质才会上升，有长菌风险；
10．抛光混床管线持续循环会使温度升高，一定要加换热器；
11．循环管线的设计，需要恒定的压差；
12．渗透现象：
当两种溶液通过半透膜分离时，稀溶液将被移至浓缩侧，使其浓度相同。这种现象被称为“渗透现象”
注：分子量单位：
26.微滤、超滤系统调试的系统启动时，应开启浓水排放管阀门和产水管阀门，冲洗膜组件内的保护液，直到冲洗水无泡沫为止；
27.活性炭的吸附功能具有一饱和值，当达到饱和吸附容量时，活性炭滤池的吸附功能将大大降低，因此需要注意分析活性炭的吸附能力，及时更换活性炭或通过高压蒸汽进行消毒恢复。但同时活性炭表面吸附的有机物有可能成为细菌繁殖的营养源或温床，因此活性炭滤池内微生物的繁殖问题也值得引起注意；
